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CMP module
Examples with "CMP module" and their translation in Frans
After being processed, the workpiece is transported from the CMP module to the cleaning and drying module using a movable housing.
Après traitement, un boîtier mobile est utilisé pour transporter la pièce à travailler du module CMP au module de nettoyage et de séchage.
The method comprises operating CMP apparatus comprising a docking station having at least one CMP module and at least one cleaning module to process one or more substrates therein.
Ce procédé consiste à actionner un appareil CMP pourvu d'une station d'ancrage comprenant au moins un module CMP et au moins un module de nettoyage pour traiter un ou plusieurs substrats à cet endroit.
The integrated process tool includes a CMP module and a cleaning and drying module.
L'outil de traitement intégré comprend un module de traitement chimico-mécanique (CMP) et un module de nettoyage et de séchage.
configured to form a substantially planarized conductive layer on the front surface of the wafer, a chamber within the ECMPR module configured to remove conductive material from an edge region of the wafer, a chemical mechanical polish CMP module
configuré pour former une couche conductrice sensiblement planarisée sur la surface avant de la plaquette; une chambre dans le module ECMPR configurée pour ôter le matériau conducteur d'une région de bordure de la plaquette; un module de polissage chimico-mécanique CMP
Andere resultaten
The system comprises a plurality of interchangeable CMP process modules.
configured to transfer the wafer from the ECMPR module (CMP) module
configuré pour transférer la plaquette du module ECMPR au module CMP
The present invention provides methods and apparatus for a pre-CMP semiconductor substrate buffing module.
La présente invention concerne des procédés et un appareil pour un module de polissage de substrat semiconducteur avant planarisation chimicomécanique (CMP).
Apparatus and methods for isolating CMP cleaning modules from a conveyor are provided, as are numerous other aspects.
Un appareil et des procédés d'isolation de module de polissage chimicomécanique (CMP) par rapport à un convoyeur sont proposés, de même que de nombreux autres aspects.
The Ammann Module CMP B with Pre-Hopper is a further development of the basic unit and serves to provide new or existing plants with aggregate belt conveyors or tower-type production plants.
Le module CMP B avec pré-trémie d'Ammann est un perfectionnement des bases en place et sert à fournir des convoyeurs à courroie pour agrégats ou des centrales de production de type tour aux centrales nouvelles ou existantes.
CMP for command module pilot...
CMP pour pilote du module de commande...
Information can be submitted online using the CMP reporting module of Environment and Climate Change Canada's Single Window under the CMP3 initiative.
Les renseignements peuvent être soumis en ligne à l'aide du module de rapports du PGPC sur le guichet unique d'Environnement et Changement climatique Canada en vertu de l'initiative PGPC3.
Embodiments described herein generally relate to a vapor dryer module for cleaning substrates during a chemical mechanical polishing (CMP) process.
L'invention concerne généralement, dans des modes de réalisation, un module de séchoir à vapeur destiné au nettoyage de substrats pendant un processus de polissage mécanique chimique (CMP).
The workshops are centred on various learning modules, called the Chemicals Awareness and Learning Modules, which are based on best practices linked to the CMP.
Synoniemen voor CMP module in het Engels
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