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En conséquence, le film condensateur de type diffraction et le dispositif de source de lumière superficielle sont minces et permettent une transmissivité élevée.
As a result, the diffraction type condensing film and the surface light source device have high light transmissivity and are thin.
élément mems et son procédé de fabrication et élément mems de type diffraction
mems element and method of producing the same, and diffraction type mems element
L'invention concerne un mince film condensateur de type diffraction, facile à manipuler, montrant une capacité élevée de condensation et de transmission de lumière, ainsi qu'un dispositif de source lumineuse superficielle faisant appel à ce film.
Provided are an easy-to-handle thin diffraction type condensing film exhibiting high light transmissivity and condensation ability, and a surface light source device using the film.
L'élément MEMS de type diffraction de l'invention, possédant la même électrode côté substrat que celle du dispositif précité, comporte une pluralité de barres indépendantes opposées à l'électrode côté substrat.
The diffraction type MEMS element of the invention, which has the same substrate-side electrode as in the above arrangement, has a plurality of mutually independent beams opposed to the substrate-side electrode.
L'invention porte sur un élément MEMS (système micro-électromécanique) présentant des caractéristiques améliorées, réduisant la déformation par allongement de la barre, et sur son procédé de fabrication, et sur un élément MEMS de type diffraction.
The invention provides an MEMS element having improved characteristics, reducing beam strain deformation, and a method of producing the same, and a diffraction type MEMS element.
FILM CONDENSATEUR DE TYPE DIFFRACTION ET DISPOSITIF DE SOURCE LUMINEUSE SUPERFICIELLE
DIFFRACTION TYPE CONDENSING FILM AND SURFACE LIGHT SOURCE DEVICE USING THE SAME
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