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Après traitement, un boîtier mobile est utilisé pour transporter la pièce à travailler du module CMP au module de nettoyage et de séchage.
After being processed, the workpiece is transported from the CMP module to the cleaning and drying module using a movable housing.
Ce procédé consiste à actionner un appareil CMP pourvu d'une station d'ancrage comprenant au moins un module CMP et au moins un module de nettoyage pour traiter un ou plusieurs substrats à cet endroit.
The method comprises operating CMP apparatus comprising a docking station having at least one CMP module and at least one cleaning module to process one or more substrates therein.
Le module CMP L Elba avec skip d'Ammann convient aux nouvelles centrales ou à celles qui seront modernisées pour optimiser les capacités de production.
The Ammann CMP L Elba with lift is suitable for new plants or those that will be retrofitted to maximise production.
Le module CMP B avec pré-trémie d'Ammann est un perfectionnement des bases en place et sert à fournir des convoyeurs à courroie pour agrégats ou des centrales de production de type tour aux centrales nouvelles ou existantes.
The Ammann Module CMP B with Pre-Hopper is a further development of the basic unit and serves to provide new or existing plants with aggregate belt conveyors or tower-type production plants.
configuré pour transférer la plaquette du module ECMPR au module CMP
configured to transfer the wafer from the ECMPR module (CMP) module
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