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interlevel
Translation of "interlevel" in German
Zwischenschicht
dielektrischen
Zwischenniveaudielektrikum
Zwischendielektrikumsschicht
Method and interlevel dielectric structure for improved metal step coverage.
Verfahren und Struktur der dielektrischen Zwischenschicht zur verbesserten metallischen Stufenbeschichtung.
An integrated circuit device having a planar interlevel dielectric layer
Integrierte Schaltungsanordnung mit einer ebenen dielektrischen Zwischenschicht
An article comprising a structure containing therein an interlevel layer formed by the coating process of claim 1 wherein the coating is a nitrided silicon dioxide ceramic coating and is used as a dielectric film to isolate electronic functions in multiple metallization layers.
Gegenstand mit einem Aufbau, der darin eine Zwischenschicht enthält, die nach dem Beschichtungsverfahren von Anspruch 1 ausgebildet ist, wobei die Beschichtung eine keramische nitrierte Siliziumdioxidbeschichtung ist, die als eine dielektrische Schicht verwendet wird, um elektronische Funktionen in Mehrfachmetallisierungsschichten zu isolieren.
An article comprising an electronic device containing multiple layers of metallization and an interlevel layer containing amorphous silicon carbide which isolates electronic functions occurring in the metallization layers, the interlevel layer having been obtained by the method of claim 1.
Gegenstand, umfassend eine elektronische Vorrichtung, enthaltend mehrere metallisierte Schichten und eine amorphes Siliciumcarbid enthaltende Zwischenschicht, die in den metallisierten Schichten vorkommende elektronische Funktionen isoliert, wobei die Zwischenschicht nach dem Verfahren des Anspruchs 1 erhalten wurde.
Apparatus and method for interlevel dielectric planarization.
Vorrichtung und Verfahren zur Planarisierung einer dielektrischen Zwischenschicht.
Deposition of amorphous silicon for the formation of interlevel dielectrics in semiconductor memory devices.
Niederschlagung von amorphen Silizium zur Herstellung dielektrischer Zwischenschichten für halbleiter Speicherzellen.
Method of making an integrated circuit device having a planar interlevel dielectric layer
Verfahren zur Herstellung einer integrierten Schaltung mit einer planaren dielektrischen Zwischenschicht
Method for forming controlled voids in interlevel dielectric
Verfahren zur Herstellung von kontrollierten Hohlräumen in einer dielektrischen Zwischenschicht
The method of any preceding claim wherein said interlevel dielectric comprises either a doped silicate glass over an undoped silicate glass, or borophosphosilicate glass.
Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, wobei das Zwischenniveaudielektrikum entweder ein dotiertes Silikatglas über einem undotiertem Silikatglas oder Borphosphorsilikatglas aufweist.
Process of any of claims 1-9, wherein a sulfur-containing organic compound is incorporated in the interlevel dielectric layer (3).
Verfahren gemäss mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9, worin eine schwefelhaltige organische Verbindung in die dielektrische Zwischenschicht (3) inkorporiert ist.
The interlevel connector of any of claims 1 to 4 wherein said fibrillated portions of said pultrusions (12) are laser fibrillated.
Lagenzwischenverbinder nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die fibrillierten Abschnitte der Pultrusionen (12) mit Laser fibrilliert werden.
The device according to claim 1, characterized in that said interlevel insulating layer (4) has a thickness falling within a range of 100 to 500 nm.
Vorrichtung gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zwischen den Ebenen liegende isolierende Schicht (4) eine innerhalb des Bereichs von 100 bis 500 nm liegende Dicke aufweist.
Method for fabricating interlevel contacts.
Verfahren zum Herstellen von Zwischenschicht-Kontakten.
Synonyms and analogies of "interlevel" in English
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