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method for patterning

Translation of "method for patterning" in German

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VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG

Verfahren zum Strukturieren

Verfahren zum Bemustern

Verfahren zur Herstellung eines Musters

METHOD FOR PATTERNING THIN FILMS

VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG DÜNNER SCHICHTEN

METHOD FOR PATTERNING BY SURFACE MODIFICATION

VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG DURCH OBERFLÄCHENMODIFIKATION

Method for patterning a wafer for the manufacture of an integrated circuit

Verfahren zum Strukturieren eines Wafers zur Herstellung einer integrierten Schaltung

Method for patterning a layer of conductive polymer

Verfahren zum Strukturieren einer Schicht aus leitfähigem Polymer

A method for patterning by photolithography using a phase shift mask, characterized in that a phase shift mask according to one of claims 1 to 6 is used.

Verfahren zum Bemustern durch Photolithographie unter Benutzung einer Phasenverschiebungsmaske, dadurch gekennzeichnet, daß eine Phasenverschiebungsmaske gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 benutzt wird.