Encapsulated microcomponent equipped with at least one getter
An apparatus as claimed in claim 1, wherein the base (500; 1000, 1004) comprises a substrate (500), or another microcomponent (1004), or a pallet (1000), or a combination thereof.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Basis (500; 1000, 1004) ein Substrat (500) oder ein anderes Mikrobauteil (1004) oder Pallet (1000) oder eine Kombination davon umfaßt.
Fuel processing unit according to any of the preceding claims, characterized in that it comprises a laminate having a microcomponent that heats a water-containing stream.
Brennstoffverarbeitungseinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein Laminat mit einer Mikrokomponente umfasst, welche einen Wasser-enthaltenden Strom erwärmt.
Electronic microcomponent comprising a capacitor structure and its method of fabrication
Elektronische Mikrokomponente mit Kondensator und diesbezügliches Herstellungsverfahren
Microcomponent of the type microinductance or microtransformer
Microcomponent according to Claim 1, characterised in that the anode is constituted in the form of a metal layer deposited on the dielectric layer.
Mikrobauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anode in Form einer Metallschicht gebildet ist, die auf der dielektrischen Schicht angebracht ist.
The microcomponent (1) and the electric heating element can be produced by means of semiconductor production methods.
Die Mikrokomponente (1) und das elektrische Heizelement können mittels Halbleiterfertigungsmethoden hergestellt werden.
Furthermore, the invention relates to a method for producing such a microcomponent (02), wherein cyclically a silicon surface is etched and a passivation layer is subsequently deposited on the etched silicon surface.
Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Mikrobauteils (02), wobei zyklisch ein Siliziumoberfläche geätzt wird und nachfolgend eine Passivierungsschicht auf der geätzten Siliziumoberfläche abgeschieden wird.
The invention relates to a method for producing, adapting or adjusting a bearing in a fluid microcomponent (M) comprising a stator (30) and a rotor (40, 2).
Vorgeschlagen wird ein Verfahren zum Herstellen, Anpassen oder Einstellen einer Lagerstelle in einer fluidischen Mikrokomponente (M), welche einen Stator (30) und einen Rotor (40, 2) aufweist.
The electric heating element can have, for example, a printed conductor (3) that is applied to the surface of the microcomponent (1).
Das elektrische Heizelement kann beispielsweise eine auf der Oberfläche der Mikrokomponente (1) angebrachte gedruckte Leiterbahn (3) aufweisen.
A temperature sensor, which essentially consists of a resistance thermometer (4), is used to continuously measure the temperature rise of the microcomponent (1).
Mit einem im wesentlichen aus einem Widerstandsthermometer (4) bestehenden Temperatursensor ist die Erwärmung der Mikrokomponente (1) kontinuierlich messbar.
Process according to claim 1 or 2, characterised in that the microcomponent (1, 18) and the component base plate (2) are produced from the same material.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Mikrobauteil (1, 18) und die Bauteilgrundplatte (2) aus demselben Material hergestellt werden.
Magazine according to claim 14 or 15, characterised in that the plate (5a) surrounds the microcomponent (1, 18) such that it is not tapered in the direction of pushing-out from the magazine (5).
Magazin nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (5a) das Mikrobauteil (1, 18) derart umfaßt, daß es sich in Richtung des Herausschiebens aus dem Magazin (5) nicht verjüngt.