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printed reference pattern
Translation of "printed reference pattern" in German
gedruckte Referenzmuster
Method according to any of the preceding claims, wherein the printed reference pattern comprises a line or dot pattern which extends substantially perpendicular to the direction of advance (B).
Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem das gedruckte Referenzmuster ein Linien- oder Punktmuster aufweist, das sich im wesentlichen rechtwinklig zu der Transportrichtung (B) erstreckt.
A method of detecting defects in a patterning means (MA) according to claim 8, wherein in comparing the printed test pattern to the printed reference pattern the patterned test substrate and reference substrate (10) are scanned simultaneously by respective optical defect inspection tools.
Verfahren zum Erkennen von Fehlern in einer Musteraufbringungseinrichtung (MA) nach Anspruch 8, wobei während des Vergleichs des gedruckten Testmusters mit dem gedruckten Referenzmuster das gemusterte Testsubstrat und das Referenzsubstrat (10) simultan von jeweiligen optischen Inspektionstools für Fehler abgetastet wird.
A method of detecting defects in a patterning means (MA according to either claim 8 or claim 9, wherein multiple comparisons take place between multiple printed reference pattern and multiple printed test pattern.
Verfahren zum Erkennen von Fehlern in einer Musteraufbringungseinrichtung (MA) nach Anspruch 8 oder 9, wobei mehrere Vergleiche zwischen mehreren gedruckten Referenzmustern und mehreren gedruckten Testmustern stattfinden.
A method of detecting defects in a patterning means (MA) according to any one of the preceding claims, wherein the reference substrate (10) is a silicon wafer having an SiO 2 layer and the printed reference pattern is etched into the SiO 2 layer.
Verfahren zum Erkennen von Fehlern in einer Musteraufbringungseinrichtung (MA) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Referenzsubstrat (10) ein Silizium-Wafer ist, der eine SiO 2 -Schicht aufweist und das gedruckte Referenzmuster in die SiO 2 -Schicht eingeätzt ist.
A method of detecting defects in a patterning means (MA) according to claim 6, wherein individual printed reference pattern are spaced such that an individual test pattern can be printed beside each individual printed reference pattern.
Verfahren zum Erkennen von Fehlern in einer Musteraufbringungseinrichtung (MA) nach Anspruch 6, wobei einzelne gedruckte Referenzmuster so beabstandet sind, dass ein einzelnes Testmuster neben jedes einzelne gedruckte Referenzmuster gedruckt werden kann.
Synonyms and analogies of "printed reference pattern" in English
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