A method according to any one of the preceding claims, characterized in that the matching level between said reference interference pattern and said interference pattern of the candidate object is determined by image processing computer means.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Grad der Übereinstimmung zwischen der Vergleichsinterferenzfigur und der Interferenzfigur des Testgegenstandes mit Hilfe von Mitteln zur elektronischen Bildbearbeitung festgestellt wird.
A system as claimed in any one of the preceding claims, wherein the spectrophotometer determines a first wavelength intensity profile of the interference pattern and a second wavelength intensity profile of the reference interference pattern, and further comprising computation means for analysing said first and second profiles.
System nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Spektrophotometer ein erstes Wellenlängen-Intensitätsprofil des Interferenzmusters und ein zweites Wellenlängen-Intensitätsprofil des Bezugs-Interferenzmusters bestimmt und ferner Berechnungsmittel zur Analyse des ersten und zweiten Profils vorgesehen sind.
A method according to any one of the preceding claims, characterized in that one proceeds with the acquisition of interference patterns, with computer means and in that the reference interference pattern is retained on a computer medium.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gewinnung der Interferenzfiguren mit Mitteln zur elektronischen Datenverarbeitung erfolgt und dass die Vergleichsinterferenzfigur auf einem elektronischen Datenträger gespeichert wird.
A measurement system as claimed in Claim 3, characterised in that the reference interference pattern (7) is applied photolithographically to the light outlet surface of the block (6).
Meßsystem nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Referenz-Interferenzmuster (7) photolithographisch auf die Lichtaustrittsfläche des Blockes (6) aufgebracht ist.
A measurement system as claimed in one of the preceding claims, characterised in that a reference interference pattern corresponding to a theoretical interference pattern is additionally arranged in one of the subsidiary light beams.
Meßsystem nach einem der vorstehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein einem Soll-Interferenzmuster entsprechendes Referenz-Interferenzmuster zusätzlich in einem der Teillichtbündel angeordnet ist.
A measurement system as claimed in Claim 1 or Claim 2, characterised in that the photo-detector is constructed as a moiré detector in that a reference interference pattern (7) is connected at the input end of said photo-detector.
Meßsystem nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Photoempfänger durch Vorschalten eines Referenz-Interferenzmusters (7) als Moiré-Detektor ausgebildet ist.
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Synonyms and analogies of "reference interference pattern" in English