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semiconductor processing module
Translation of "semiconductor processing module" in German
Halbleiterverarbeitungsmodul
The semiconductor processing module according to Claim 1, wherein said load lock chambers (131,132) communicate with each other through a manifold (135) connecting a lower portion of each load lock chamber, whereby vacuum operation is controlled as one load lock chamber.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, wobei die Chargenschleusenkammern (131,132) über einen Verteiler (135) miteinander verbunden sind, der sich an einen unteren Abschnitt jeder Chargenschleusenkammer anschließt, wodurch ein Vakuumbetrieb wie eine Chargenschleusenkammer gesteuert wird.
The semiconductor processing module according to Claim 13, wherein the seal plate is provided with a pressing elastic material (94) for securing the seal between the seal surface of the seal plate and the circular projection.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 13, wobei die Abdichtplatte mit einem elastischen Druckmaterial (94) versehen ist für das Sichern der Dichtung zwischen der Abdichtoberfläche der Abdichtplatte und dem kreisförmigen Vorsprung.
The semiconductor processing module according to Claim 1, wherein the gas supply system (60) is provided with a flow divider (61) for supplying gas equally to each reactor (66, 67).
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, wobei das Gaszuführsystem (60) mit einem Flußteiler (81) versehen ist, um Gas in gleichem Maß jedem Reaktor (66, 67) zuzuführen.
The semiconductor processing module according to Claim 1, further comprising a vacuum exhaust valve (65, 65') for each reactor between the pressure control valve and the reactor.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, ferner mit einem Vakuumauslaßventil (65, 65') für jeden Reaktor zwischen dem Drucksteuerventil und dem Reaktor.
The semiconductor processing module according to Claim 6, further comprising a gas stop valve (62, 62') for each reactor between said flow divider and each reactor (66, 67).
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 6, ferner mit einem Gasrückschlagventil (62, 62') für jeden Reaktor zwischen dem Flußteiler und jedem Reaktor (66, 67).
The semiconductor processing module according to Claim 16, wherein said duct member (123) and said baffle plate (124) are made of an insulation material.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 16, wobei das Rohrleitungsteil (123) und die Stauplatte (124) aus einem Isolationsmaterial hergestellt sind.
The semiconductor processing module according to Claim 1, further comprising one RF generator (150) and a switch for electrically connecting said RF generator and one of the reactors, wherein deposition and cleaning are alternately performed in the respective reactors.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, ferner mit einem Hochfrequenzgenerator (150) und einem Schalter für das elektrische Verbinden des Hochfrequenzgenerators und einem der Reaktoren, wobei die Ablagerung bzw. Abscheidung und das Reinigen abwechselnd in den entsprechenden Reaktoren durchgeführt werden.
The semiconductor processing module according to Claim 1, wherein the gas exhaust system is common to the respective reactors.
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, wobei das Gasauslaßventil den entsprechenden Reaktoren gemeinsam ist.
The semiconductor processing module according to Claim 1, which is composed of two single-wafer processing units (30, 36).
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, der aus zwei Einzelwafer-Verarbeitungseinheiten (30, 36) besteht.
The semiconductor processing module according to Claim 1, wherein the pressure control valve is an auto pressure control (APC) butterfly valve (63, 63').
Halbleiterverarbeitungsmodul nach Anspruch 1, wobei das Drucksteuerventil ein Drosselventil (63, 63') mit Selbstdrucksteuerung (APC) ist.
Synonyms and analogies of "semiconductor processing module" in English
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