Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1., wobei in genanntem Steuer- und Regelmodul-Programm außerdem die programmtechnische Möglichkeit vorgesehen ist, die Temperatur auf der genannten Glockenoberfläche zu überwachen, so lange sich die epitaktische Abscheidungsanlage im Reinigungsmodus befindet.
The apparatus as claimed in Claim 1 wherein said control module code further includes program code means to effect monitoring the temperature of the surface of said bell jar while said epitaxial deposition device is in cleaning mode.
Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1., wobei in dem genannten Steuer- und Regelmodul-Programm außerdem die programmtechnischen Möglichkeiten vorgesehen sind, den Start der Gebläsedrehzahlsteuerung auszulösen, um die Oberflächetemperatur der Glocke in genannter Reaktionskammer zu erhöhen.
The apparatus as claimed in Claim 1 wherein said control module code further includes program code means to effect initiating blower speed control to increase the temperature of the surface of a bell jar of said reaction chamber.
Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1., wobei in genanntem Steuer- und Regelmodul-Programm außerdem die programmtechnische Möglichkeit vorgesehen ist, das Ausblasen der genannten Glocke mit einem Spülgas einzuleiten.
The apparatus as claimed in Claim 1 wherein said control module code further includes program code means to effect purging said bell jar with a purging gas.
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Synonyms and analogies of "Regelmodul-Programm" in German
