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CMP process
Ungleichmäßige Partikelgröße und inhomogene Partikelgrößenverteilung verursachen schwere Schäden an der polierten Oberfläche während eines CMP-Prozesses.
Non-uniform particle size and inhomogeneous particle size distribution causes severe damages to the polished surface during a CMP process.
Neben Slurry-Recyling-Anlagen zum Einsatz innerhalb des CMP-Prozesses bietet die HighQ-Factory GmbH weitere Produkte und umfangreiche Services.
In addition to slurry recycling systems, for use within the CMP process, HighQ-Factory GmbH can offer more products and comprehensive services.
Alle bewegten Teile innerhalb des CMP-Prozesses unterliegen höchsten Anforderungen.
All movable parts within the CMP-process are subject to very high requirements.
Das innerhalb des CMP-Prozesses verwendete Wasser-Slurry-Gemisch kann optimal gefiltert und damit wertvolles Slurry sowie Reinstwasser zurückgewonnen werden. Slurry und Wasser können danach wieder dem CMP-Prozess zugeführt werden.
The water-slurry mixture produced by the CMP process is recovered, separated and thoroughly filtered, so valuable slurry and ultrapure water can be can be reused safely and efficiently in the CMP process.
TECATRON CMP ist ein speziell modifizierter und verbesserter Werkstoff, mit dem die Anforderungen des CMP-Prozesses erfüllt werden sollen.
TECATRON CMP is a specially modified and improved material designed to meet the requirements of the CMP process, and explained below.
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