Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Gaskomponenten an in Längenrichtung des Diffusionskanals (14) aufeinanderfolgenden Elektroden (20, 21, 22) sequentiell umgesetzt werden.
The method according to Claim 20, characterised in that the individual gas components are converted sequentially on successive electrodes (20, 21, 22) in longitudinal direction of the diffusion channel (14).
Sensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Höhe des Diffusionskanals und damit die Dicke der inneren Pumpelektrode 30 bis 100 µm beträgt.
Sensor element according to Claim 1, characterised in that the height of the diffusion channel, and consequently the thickness of the inner pumping electrode, is 30 to 100 µm.
Sensoranordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Keramikträger (20) aus ZrO 2 besteht, und daß das Meßelement (10) mit einer Isolationsschicht auf die Fläche des Diffusionskanals (23) aufgedruckt ist.
Sensor arrangement according to Claim 7, characterized in that the ceramic support (20) is composed of ZrO 2, and in that the measuring element (10) is printed, with an insulation layer, onto the face of the diffusion duct (23).
Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Teilkathode (18) innerhalb des Diffusionskanals (22) zwischen einer Öffnung (24) des Diffusionskanals (22) und einer zweiten Teilkathode (20) angeordnet ist.
Sensor according to Claim 1, characterized in that the first partial cathode (18) is arranged inside the diffusion duct (22), between an opening (24) of the diffusion duct (22) and a second partial cathode (20).
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Sensoren (E1, E2,...) in Längenrichtung des Diffusionskanals (14) hintereinander angeordnet sind.
The device according to Claim 1, characterised in that all sensors (El, E2, ...) are arranged one behind the other in longitudinal direction of the diffusion channel (14).
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