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Neben dem Herstellungsverfahren wird ebenfalls eine mikromechanische Vorrichtung beschrieben, die ein derartiges Sensorelement enthält, wie beispielsweise einen Drucksensor oder einen Beschleunigungssensor.
In addition to said production method, the invention also relates to a micromechanical device containing a sensor element of this type, such as a pressure sensor or an acceleration sensor.
Das elektromechanische Bauelement kann ein Beschleunigungssensor, ein Drehratensenso, ein Mikroventil, eine Mikropumpe, ein Drucksensor oder ein Kraftsensor sein.
The electro-mechanical component can be an acceleration sensor, a rotational speed sensor, a microvalve, a micropump, a pressure sensor or a force sensor.
Mehrlagen-Membran nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Leckage-Meldeeinrichtung ein Drucksensor oder Druckschalter ist.
Multi-layer diaphragm according to claim 12, characterised in that the leakage announcement device is a pressure sensor or pressure switch.
Vorrichtung und Verfahren zum Erkennen der laser-induzierten Schädigung eines Targets mittels eines Teilchendetektors, welcher entweder als Drucksensor oder als Strommeßgerät ausgebildet ist
Device and method for detecting laser induced damage of a target using a particle detector in the form of a pressure sensor or a current sensing device
Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass als Sensor zur Bestimmung des momentanen Luftvolumenstroms ein Drucksensor oder ein Luftmassensensor vorgesehen ist.
The device according to claim 4, characterised in that a pressure sensor or an air mass sensor is provided as a sensor to determine the instantaneous air volume flow.
Spielanlage nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor des Kartenschlittens (1) ein Drucksensor oder eine Licht schranke ist.
Gaming equipment according to claim 3, characterized in that the sensor of the card shoe (1), a pressure sensor or a light barrier.
Zündanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß der Sensor (1) ein Drucksensor oder ein optischer Sensor ist.
Ignition system according to claim 2, characterised thereby that the sensor (1) is a pressure sensor or an optical sensor.
Verwendung nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei der Messfühler ein Positionsfühler für einen Behältniswandungsabschnitt, wie ein kapazitiver oder induktiver Positionsfühler, ist oder ein optoelektronischer Messfühler oder ein Drucksensor oder ein Dehnmessstreifen.
Use according to one of claims 11 to 14, wherein the measuring sensor is a position sensor for a container wall section, such as a capacitive or an inductive position sensor, or an opto-electronic measuring sensor or a pressure sensor or a strain gauge.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine Sensor (4) ein akustischer Sensor, ein optischer Sensor, ein Temperatursensor, ein Kraft- oder Drucksensor oder ein Längenmesssensor ist.
Device according to one of claims 8 to 10, characterised in that the at least one sensor (4) is an acoustic sensor, an optical sensor, a temperature sensor, a force or pressure sensor or a linear measurement sensor.
Schnelles Messereinrichten über Drucksensor oder manuell
Easy cutting die adjustment via pressure sensor or manual
Blutpumpe nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Drucksensor oder eine Druckerfassungsöffnung (25) an der Außenwand oder der axialen Endwand oder im Pumpenring (16) des Strömungskanals (20) angeordnet ist.
The blood pump according to claim 4, characterized in that the pressure sensor or a pressure detection opening (25) is arranged on the outside wall or the axial end wall or in the pump ring (16) of the flow channel (20).
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein Sensor oder mehrere Sensoren von entweder einem Trübungssensor, einem Temperatursensor, einem Drucksensor oder anderen vorhanden ist bzw. sind.
Device as in claim 5, characterized in that there are one or more sensors of either a turbidity sensor, a temperature sensor or a pressure sensor or other.
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