Ein Flusssensor umfasst ein in einer Fluidleitung angeordnetes Rückschlagventil mit einem Ventilsitz und einem Verschlusselement, sowie einen Magnetfeldsensor.
The invention relates to a flow sensor comprising a check valve, which is arranged in a fluid line and has a valve seat and a closure element, and a magnetic field sensor.
Hierdurch wird der Flusssensor (26) vor durch die Förderpumpe generierten Druckstößen geschützt.
This protects the flow sensor (26) against pressure surges generated by the feed pump.
Flusssensor nach Anspruch 4, wobei die adhäsive Schicht ein ausgehärtetes Lot ist.
Flow sensor according to claim 4, wherein the adhesive layer is a hardened solder.
Der Flusssensor (3) ist zusammen mit einer Steuer- und Auswerteschaltung auf einem Halbleitersubstrat integriert.
The flow sensor (3) is integrated into a semiconductor substrate, together with a control and evaluation circuit.
Das Gerät nach jedem der vorhergehenden Ansprüche, worin das Luftstrom-Meßmittel (49) einen Flußsensor umfaßt.
Apparatus as defined in any preceding claim, wherein said air flow measuring means (49) comprises a flow sensor.
Flußmeßgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der thermische Flußsensor (1) ein Mikrobrückensensor ist.
A flow sensor as claimed in claim 1, characterised in that the thermal flow sensor (1) is a microbridge sensor.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit zur Erzeugung eines Alarms, wenn der Flußsensor den Wert 0 des Gasflusses mißt, ausgelegt ist.
Apparatus according to any one of the claims 1 to 7, characterized in that the control unit is adapted to give an alarm when the flow sensor measures a value 0 for the gas flow.
Gegebenenfalls kann mit dem Verguß zugleich ein Flußsensor (5) und eine Steuerelektronik (6) vergossen werden.
Optionally, a flow sensor (5) and control electronics (6) may be potted with the casting compound.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Flußsensor einen Durchflußbegrenzer (2) sowie eine Sensor (19) zur Erfassung des Differenzdruckes zwischen den beiden Enden (21, 22) und dem Durchflußbegrenzer (20) umfaßt.
A device according to claim 8, characterized in that said flow sensor comprises a restrictor (20) and a sensor (19) detecting the pressure differential between the two ends (21, 22) of said restrictor (20).
Klimaanlage nach einem der Ansprüche 2 bis 7, bei der der Flußsensor (51) an einem Rohr(22), das den Zirkulationsweg (21) bildet, an einer Position nahe der inneren Oberfläche des Rohrs (22) angebracht ist.
An air conditioning system according to any one of claims 2 to 7, wherein the flow sensor (51) is attached to a pipe (22) forming the circulation route (21) at a position near the inner surface of the pipe (22).
Flusssensor nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Rohrstück (2) an seiner Aussenseite eine Vertiefung (19) aufweist, in welcher der Halbleiterbaustein (1) angeordnet ist.
Flow sensor according to one of the preceding claims, wherein the tube section (2) comprises a recess (19) on its exterior side, in which recess the semiconductor device (1) is arranged.
ZusammenfassungEin auf einem Halbleiterbaustein (1) integrierter Sensor, insbesondere ein Flusssensor, besitzt ein Messelement (2) auf einer Membran (5).
The invention relates to a sensor (1), especially a flow sensor, which is integrated on a semiconductor component and has a measuring element (2) on a membrane (5).
Beatmungsgerät nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass der den Düsen zugeordneten Verteilereinrichtung (26) wenigstens ein Proportionalventil (24) mit zugeordnetem Flusssensor (25) und Druckstabilisator (23) vorgeschaltet ist.
Respirator according to claim 9 or 10, characterised in that at least one proportional valve (24) with associated flow sensor (25) and pressure stabiliser (23) is connected upstream of the distributor (26) allocated to the nozzles.
