Ein Flusssensor umfasst ein in einer Fluidleitung angeordnetes Rückschlagventil mit einem Ventilsitz und einem Verschlusselement, sowie einen Magnetfeldsensor.
The invention relates to a flow sensor comprising a check valve, which is arranged in a fluid line and has a valve seat and a closure element, and a magnetic field sensor.
Hierdurch wird der Flusssensor (26) vor durch die Förderpumpe generierten Druckstößen geschützt.
This protects the flow sensor (26) against pressure surges generated by the feed pump.
Flusssensor nach Anspruch 4, wobei die adhäsive Schicht ein ausgehärtetes Lot ist.
Flow sensor according to claim 4, wherein the adhesive layer is a hardened solder.
Der Flusssensor (3) ist zusammen mit einer Steuer- und Auswerteschaltung auf einem Halbleitersubstrat integriert.
The flow sensor (3) is integrated into a semiconductor substrate, together with a control and evaluation circuit.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit zur Erzeugung eines Alarms, wenn der Flußsensor den Wert 0 des Gasflusses mißt, ausgelegt ist.
Apparatus according to any one of the claims 1 to 7, characterized in that the control unit is adapted to give an alarm when the flow sensor measures a value 0 for the gas flow.
Gegebenenfalls kann mit dem Verguß zugleich ein Flußsensor (5) und eine Steuerelektronik (6) vergossen werden.
Optionally, a flow sensor (5) and control electronics (6) may be potted with the casting compound.
Das Schlauchsystem (11) weist einen Inspirationsschlaucharm (17), einen Exspirationsschlaucharm (27) und einen Beatmungsschlaucharm (37) zum Anschluss an eine Maske (57), sowie einen Flusssensor (23) auf.
The tube system (11) comprises an inhalation tube arm (17), an exhalation tube arm (27) and a ventilation tube arm (37) for attachment to a mask (57), and also a flow sensor (23).
Erfindungsgemäss ist im Beatmungsschlauch (37) eine definierte Leckage (39) ausgebildet und der Flusssensor (23) ist zwischen Leckage (39) und Maske (57) angeordnet.
According to the invention, a defined leakage (39) is established in the ventilation tube (37), and the flow sensor (23) is arranged between leakage (39) and mask (57).
Diese Sammeleinheit (7) besteht aus einem speziellen Adsorber (8) und einem Heizer (9) sowie aus einer separaten Förderpumpe (10) mit einem Flusssensor (11) für die Forderpumpe (10).
Said collector unit (7) comprises a special adsorber (8), a heater (9) and a separate feed pump (10) with a flow sensor (11).
Im bereich des Auslasses (5) der Sensorenarray (1) befindet sich eine Förder und Steuereinheit (16), die ebenfalls eine Förderpumpe (17) und eine Flusssensor (18) für die Förderpumpe (17) besitzt.
A feeding and control unit (16) also having a feed pump (17) with a flow sensor (18) is located in the area of the outlet (5) of the sensor array (1).
ZusammenfassungEin auf einem Halbleiterbaustein (1) integrierter Sensor, insbesondere ein Flusssensor, besitzt ein Messelement (2) auf einer Membran (5).
The invention relates to a sensor (1), especially a flow sensor, which is integrated on a semiconductor component and has a measuring element (2) on a membrane (5).
Um den Fluss einer Flüssigkeit zu messen, wird die Flüssigkeit (1) in einer Leitung (2) an einem Flusssensor (3) vorbeigeführt.
To measure the flow of a fluid, said fluid (1) is guided in a conduit past (2) a flow sensor (3).
Die Erfindung bezieht sich auf ein Lecksuchgerät (10) mit einer Vorvakuum-Förderpumpe (20), einem Gasdetektor (18) und einem Flusssensor (26).
The invention relates to a leakage seeker (10) having a pre-vacuum feed pump (20), a gas detector (18) and a flow sensor (26).
