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Lithographiesimulationsprogramm
Examples with "Lithographiesimulationsprogramm" and their translation in Engels
Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das ein Lithographiesimulationsprogramm angewandt wird, um das Verhalten des Photoresists bei der ausgewählten Belichtung zu simulieren.
A method as claimed in any preceding claim, characterised in that a lithography simulation program is used to simulate the behaviour of the photoresist at said selected exposure.
Andere resultaten
Verfahren nach einem der Ansprüche 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Ergebnisse des Lithographiesimulationsprogramms durch das Regelgenerierungsprogramm genutzt werden.
A method as claimed in claims 6 and 7, characterised in that the results of said lithography simulation program are used by said rule generation program.
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Synoniemen voor Lithographiesimulationsprogramm in het Duits
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