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load ports
So können Sie das System für Module mit unterschiedlich vielen Loadports flexibel nutzen.
This means you can use the system for modules with varying numbers of load ports.
Andere Optionen erlauben eine platzgenaue Positionsbestimmung in Regalen, auf Transportwagen oder an Loadports.
Other options allow for area-based localization on shelves, transport trolleys or load ports.
Sie verwenden mehrere Loadports? Oder setzen mehrere Prozesskammern ein?
Are you using multiple load ports? Or multiple process chambers?
LotTrack Anlageninfrastruktur: Geräte für die automatische Identifikation von Wafercarriern oder SMIF Pods, die auf Loadports platziert werden
LotTrack tool infrastructure: devices for automatic identification of wafer carriers or SMIF pods placed on load ports
Er verfügt über zwei Loadports für das automatische Handling von Waferkassetten.
It has two loadports for the automatic handling of wafer cassettes.
Dabei sind sie hochpräzise, sodass die reibungslose Übergabe Ihrer Carrier an die Loadports möglich ist.
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