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Maskenabschnitte

Vertaling van "Maskenabschnitte" in Engels

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portions of the mask
Maske nach Anspruch 1, bei der der Wandabschnitt (20) mit einer Dicke ausgebildet ist, die geringer ist als diejenige der anschließenden Maskenabschnitte.
A mask as claimed in claim 1 wherein the wall portion (20) is formed with a thickness that is less than that of adjacent portions of the mask.
Maske nach Anspruch 1, bei der der Wandabschnitt (20) in der Form eines Ringes vorliegt, welcher die Gasversorgungsöffnung (21) umgibt, und eine Dicke hat, die geringer ist als diejenige der angrenzenden Maskenabschnitte.
A mask as claimed in claim 1 wherein the wall portion (20) is in the form of an annulus that surrounds the gas supply port (21) and has a thickness that is less than that of adjacent portions of the mask.
Photomaske nach Anspruch 6, bei der die Maskenabschnitte aus Chrom herstellt sind.
A photomask according to claim 6, wherein said mask portions are made of chromium.
Es resultiert eine abbildende Optik, bei der eine Inspektion auch größerer Maskenabschnitte von Lithographiemasken, die bei der Projektionsbelichtung zur Herstellung hochintegrierter Halbleiterbauteile eingesetzt werden, mit ausreichender Abbildungsqualität möglich ist.
The result is an imaging lens by means of which an inspection even of larger mask sections of lithography masks that are used with projection lighting to produce highly integrated semiconductor components is possible at sufficient imaging quality.
Die Maske nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, die weitere Maskenabschnitte (14) umfaßt, die durch eine opake Schicht gebildet sind und die mit den Maskenabschnitten (5, 3b), die durch die Phasenverschiebungsschicht gebildet sind, koexistieren.
The mask according to any preceding claim, comprising further mask portions (14) which are formed by an opaque layer and which coexist with said mask portions (5, 3b) formed by the phase shift layer.
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Synoniemen voor Maskenabschnitte in het Duits

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