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Negatives Resistmaterial, Methode zu seiner Herstellung und Methode zu seiner Verwendung.
Negative resist material, method for its manufacture and method for using it.
Elektronenstrahlempfindliches Resistmaterial für Mikrostrukturen in der Elektronik.
Electron-sensitive resist material for microscopic structures in electronics.
Resistmaterial und Verfahren zur Herstellung eines Musters.
Resist material and pattern formation process.
Ein strahlungsempfindliches Resistmaterial und ein Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen unter Benutzung dieses Resistmaterials
A radiation-sensitive resist material and a process for device fabrication using the same
Chemisch verstärktes Resistmaterial und Verfahren zur Strukturformung damit
Chemically amplified resist material and pattern formation method using the same
Gegenstand nach Anspruch 2, bei dem das Resistmaterial epoxidisiertes Novolak enthält.
The article of claim 2 wherein said resist material includes epoxidized novolak.
Verschmutzungsarme Klebefolien und Verfahren zur Entfernung von Resistmaterial
Low-staining adhesive sheets and method for removing resist material
Das entfernte Resistmaterial wird in der Entschichtungszusammensetzung im wesentlichen aufgelöst oder in sehr kleinen Teilchen in dieser suspendiert.
The removed resist material is substantially dissolved or suspended in the form of very small particles in the pickling composition.
Das Resistmaterial wird durch die Einwirkung des Lichtes so verändert, dass es an den belichteten Stellen unlöslich bezüglich einer Entwicklerflüssigkeit wird.
The resist material is altered by the action of light so that it becomes insoluble with respect to a liquid developer in the exposed areas.
Ein polymeres negatives Resistmaterial, das im wesentlichen aus einem Copolymer aus einem siliziumhaltigen Alkylmethacrylat mit wenigstens einer Trimethylsiloxysilylgruppe und halogeniertem Styrol besteht.
A polymer negative resist material, consisting essentially of a copolymer of a silicon-containing alkyl methacrylate having at least one trimethylsiloxysilyl group, and halogenated styrene.
Resistmaterial, Methode zu seiner Herstellung und Verfahren zum Herstellen von Resistbildern mit diesem Material.
Resist material, method for the production of the same and process of forming resist patterns using the same.
Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das energieempfindliche Resistmaterial außerdem einen Amin-Zusatzstoff aufweist.
The process of claim 1 wherein the energy sensitive resist material further comprises an amine additive.
Das Substrat kann durch Aufbringen eines bemusterten Resistmaterials, Ätzen der dielektrischen Schicht, wo das Resistmaterial nicht vorhanden ist und dann Abtragen des Resistmaterials vorgeformt werden.
The substrate may be formed by applying a patterned resist material, etching of the dielectric layer where the resist material is not present and then removing the resist material are preformed.
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