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SPM-Sensor

Vertaling van "SPM-Sensor" in Engels

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The SPM sensor as
SPM-Sensor nach Anspruch 2, wobei die Sensorspitze (18) das Ende des Cantilevers 17 nicht überragt.
The SPM sensor as claimed in claim 2, in which the sensor tip (18) does not project beyond the end of the cantilever (17).
SPM-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Cantilever (9) und/oder die Spitze (8) aus Silizium, einer Siliziumverbindung, Metallen oder einer Kombination daraus bestehen.
The SPM sensor as claimed in claim 1, characterised in that the cantilever (9) and/or the tip (8) is made from silicon, a silicon compound, metals or a combination thereof.
SPM-Sensor nach Anspruch 2, wobei der Armbereich (121) an den Seitenflächen (113,114) durch (111)-Kristallebenen begrenzt ist.
The SPM sensor as claimed in claim 2, in which the arm region (121) is delimited at the side faces (113,114) by (111)-crystal planes.
SPM-Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Loch (6) für die Verankerung der EBD-Abtastspitze (5) zur Mittelachse der Sensorspitze (4) versetzt angeordnet ist.
The SPM sensor as claimed in claim 3, wherein the hole (6) for the anchoring of the EBD scanning tip (5) is arranged offset in relation to the center axis of the sensor tip (4).
SPM-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die EBD-Abtastspitze (5) im Substrat der Sensorspitze (4) form- und kraftschlüssig verankert ist.
The SPM sensor as claimed in claim 1, wherein the EBD scanning tip (5) is anchored in the substrate of the sensor tip (4) with positive and nonpositive engagement.
SPM-Sensor nach Anspruch 1 und Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die EBD-Abtastspitze (5) durch strahlinduzierte Abscheidung direkt im Loch (6) hergestellt ist.
The SPM sensor as claimed in claim 1 and claim 2, wherein the EBD scanning tip (5) is produced by beam induced deposition directly in the hole (6).
SPM-Sensor und Verfahren zur Herstellung desselben
SPM sensor and method for its manufacture
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Synoniemen voor SPM-Sensor in het Duits

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