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Transferarm-Kalibriersystem
Vertaling van "Transferarm-Kalibriersystem" in Engels
The transfer arm calibration system
Transferarm-Kalibriersystem nach Anspruch 8, bei dem die Positionsgebermakierung eine Vertiefung in der Oberfläche ist.
The transfer arm calibration system of claim 8, wherein said locator mark is a dimple in said surface.
Transferarm-Kalibriersystem nach einem der Ansprüche 7 bis 16, bei dem das kapselbare Halbleiter-Bearbeitungssystem ein Sputtersystem ist.
The transfer arm calibration system of any one of claims 7 to 16, wherein said sealable semiconductor processing system is a sputtering system.
Transferarm-Kalibriersystem nach Anspruch 8, 9 oder 10, bei dem das Fadenkreuz mit einer Gradeinteilung versehen ist.
The transfer arm calibration system of claim 8, 9 or 10, wherein said reticle is graduated.
Transferarm-Kalibriersystem nach Anspruch 13, bei dem die Fernpositioniereinrichtung weiterhin eine Computer enthält, der mit der Videokamera verbunden ist.
The transfer arm calibration system of claim 13, wherein said remote positioning device is further comprised of a computer, said computer coupled to said video camera.
Transferarm-Kalibriersystem nach Anspruch 15, bei dem der Computer automatisch die Position des Transferarmes justiert.
The transfer arm calibration system of claim 15, wherein said computer automatically adjusts said position of said transfer arm.
Transferarm-Kalibriersystem nach einem der Ansprüche 8 bis 12, weiterhin enthaltend: eine Videokamera zum Aufzeichnen des Fernbildes der Positionsgebermarkierung, die dem Fadenkreuz überlagert ist, eine Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen des aufgezeichneten Bildes.
The transfer arm calibration system of any one of claims 8 to 12, further comprising: a video camera for recording said remote image of said locator mark superimposed on said reticle; and a display for displaying said recorded image.
Transferarm-Kalibriersystem nach einem der Ansprüche 8 bis 11, bei dem die Abbildungseinrichtung enthält: mehrere Spiegel, die ein Bild der Positionsgebermarkierung, welche dem Fadenkreuz überlagert ist, auf eine Bildebene übertragen.
The transfer arm calibration system of any one of claims 8 to 11, wherein said imager is comprised of: a plurality of mirrors, wherein said plurality of mirrors relay an image of said locator mark superimposed on said reticle to an image plane.
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Synoniemen voor Transferarm-Kalibriersystem in het Duits
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