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diffusion-inhibiting
Erfindungsgemäß ist zwischen dem Substrat (11) und der Diffusionssperrschicht (13) eine zusätzliche diffusionshemmende Schicht (12) angeordnet.
According to the invention, an additional diffusion-inhibiting layer (12) is arranged between the substrate (11) and the diffusion barrier layer (13).
Über der Grundmetallisierung (4) ist eine Beschichtung (5) aufgebracht, die wenigstens eine diffusionshemmende Schicht (51) aufweist.
A coating (5) comprising at least one diffusion-inhibiting layer (51) is applied over the base metallization (4).
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und Vorrichtungen vorzuschlagen, mit Hilfe derer dünne diffusionshemmende epitaktische Halbleiterschichten auf grossen in der Halbleitertechnik üblichen Halbleitersubstraten bei einem hohen, für die industrielle Fertigung geeigneten Durchsatz für typische HBT-Stapel herstellbar sind.
The aim of the invention is to provide a method and devices which are used to produce thin diffusion-inhibiting epitactic semiconductor layers on large substrates commonly used in semiconductor engineering at a high industrial manufacturing throughput rate for typical HBT stacks.
Die diffusionshemmende Schicht (51) hemmt die Diffusion eines Bestandteils eines Lotes durch die diffusionshemmende Schicht (51).
The diffusion-inhibiting layer (51) inhibits the diffusion of a component of a solder through the diffusion-inhibiting layer (51).
Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche 6 - 8, wobei mindestens eine weitere Werkstoffschicht zwischen der äußeren und inneren Schicht angeordnet wird, die eine diffusionshemmende Wirkung auf das Behälterfluid hat.
Method according to one of the preceding claims 6 to 8, wherein at least one further material layer is arranged between the outer and inner layer having a diffusion resistant effect onto the container fluid.
Befindet sich solch eine diffusionshemmende Beschichtung auf einem feuchten Untergrund, kann die Feuchtigkeit nicht entweichen.
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