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or diffractive
System nach Anspruch 1, bei dem die Lichtmodulatorelemente einzeln derart steuerbar sind, dass deren reflektiven, transmissiven oder diffraktiven Eigenschaften geändert werden.
System according to claim 1, wherein the light modulator elements are individually controllable such that the reflective, transmissive or diffractive properties thereof are changed.
Beleuchtungsvorrichtung für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage mit einem optischen Element aus einem uniaxialen Kristall mit mehreren parallel oder senkrecht zur Kristallachse angeordneten refraktiven oder diffraktiven Strukturen
Illumination device for a microlithographic projection apparatus having an element made of uniaxial crystal and having a plurality of refractive or diffractive structures extending along an axis being parallel or perpendicular to the crystal axis
Optische Vorrichtung nach Anspruch 13, wobei die diffraktive Struktur einstückig mit einer visuellen holografischen oder diffraktiven Vorrichtung gebildet ist.
An optical device as claimed in Claim 13, wherein the diffractive structure is formed integrally with a visual holographic or diffractive device.
Vorteilhafterweise bestehen die Unterbereiche aus mehreren Diffraktionsbeugungsgittern oder diffraktiven Bereichen in einer Größenordnung von 20 bis 100 Mikrometer und weisen Ausrichtungen und Steigungen auf, die so ausgelegt sind, dass eine achromatische Wiedergabe in die gewünschte Betrachtungszone bereitgestellt wird.
Advantageously, the sub-regions consist of several Diffraktionsbeugungsgittern or diffractive areas in the order of 20 to 100 micrometers and have orientations and pitches which are designed so that an achromatic replay into the desired viewing zone is provided.
PINHOLE MIT EINEM REFRAKTIVEN ODER DIFFRAKTIVEN OPTISCHEN ELEMENT ZUR ORTSFREQUENZFILTERUNG VON LASERSTRAHLEN
PINHOLE WITH A REFRACTIVE OR DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENT FOR THE SPATIAL-FREQUENCY FILTERING OF LASER BEAMS
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