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or a semiconductor
Die Methode nach einem der Ansprüche 1 - 3, beinhaltend den nachfolgenden Schritt (d) des Bedeckens von zumindest eines Teils der nichtfixierten Oberfläche der harzhaltigen Schicht mit einem Leiter oder einem Halbleiter.
The method of any one of claims 1 to 3 including the subsequent step of (d) coating at least a portion of the unsupported surface of the resinous layer with a conductor or a semiconductor.
Träger nach Anspruch 1, wobei die Basis (11; 21) aus einem Material gefertigt ist, das unter einem Metall, einem keramischen Material, einem Glas oder einem Halbleiter ausgewählt ist.
A support according to claim 1 wherein said base (11; 21) is made of a material selected among a metal, a ceramic, a glass or a semiconductor.
Vorrichtung nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das mikrofluidische System (4) auch aus einem Fotolack (Positivrest, Negativrest), einem Polymer, einem Polyimid, einem Metall, einem Dielektrikum oder einem Halbleiter besteht.
Device according to at least one of Claims 1 to 11, characterized in that the microfluidic system (4) also comprises a photoresist (positive residue, negative residue), a polymer, a polyimide, a metal, a dielectric or a semiconductor.
Ionengenerator nach Anspruch 10, bei dem das Widerstandselement (5) aus einem einen hohen Widerstand aufweisenden Material oder einem Halbleiter gefertigt ist.
The ion generator as claimed in Claim 10, wherein the resistance element (5) is made of a material having a high resistance or a semiconductor.
System nach Anspruch 9 oder 10, worin die Merkmale (302) Phasenänderungen in einem Dielektrikum oder einem Halbleiter umfassen.
The system of claims 9 or 10 wherein said features (302) comprise phase changes in a dielectric or semiconductor.
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