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A process monitor according
Vertaling van "A process monitor according" in Duits
Prozessüberwachungsgerät nach
A process monitor according to claim 1 wherein the collimated optical radiation is incident normally to the wafer (74).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 1, bei dem die kollimierte optische Strahlung senkrecht auf den Wafer (74) einfällt.
A process monitor according to claim 1 wherein a spectrograph integration period is synchronized to the flash lamp (35).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 1, bei dem eine Integrationszeitspanne des Spektrographen mit der Blitzlampe (35) synchronisiert ist.
A process monitor according to claim 1 wherein the process parameter further comprises a thickness of a layer carried by the wafer (74).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 1, bei dem der Prozessparameter weiterhin eine Dicke einer auf dem Wafer (74) aufgebrachten Schicht ist.
A process monitor according to claim 9 wherein the process parameter further comprises a deposition rate of a layer carried by the wafer (74).
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 9, bei dem der Prozessparameter weiterhin eine Abscheiderate einer auf dem Wafer (74) aufgebrachten Schicht ist.
A process monitor according to claim 12 wherein the normalised first signal is processed by the data processing element (50) to determine the process parameter.
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 12, bei dem das normierte erste Signal durch das Datenverarbeitungselement (50) verarbeitet wird, um den Prozessparameter zu bestimmen.
A process monitor according to claim 9 wherein a third signal representative of the intensity of the emitted radiation is processed by the data processing element (50) to normalize the first signal.
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 9, bei dem ein drittes Signal, das für die Intensität der emittierten Strahlung repräsentativ ist, durch das Datenverarbeitungselement (50) verarbeitet wird, um das erste Signal zu normieren.
A process monitor according to claim 1 wherein a third signal representative of the intensity of the optical radiation emitted by the flash lamp is processed by the data processing element (50) to normalize the first signal.
Prozessüberwachungsgerät nach Anspruch 1, bei dem ein drittes Signal, das für die Intensität der von der Blitzlampe emittierten optischen Strahlung repräsentativ ist, durch das Datenverarbeitungselement (50) verarbeitet wird, um das erste Signal zu normieren.
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