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A semiconductor wafer processing system
Vertaling van "A semiconductor wafer processing system" in Duits
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem
A semiconductor wafer processing system according to claim 7 further comprising at least two multi-chamber modules (20), said multi-chamber modules oriented in a linear array.
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem nach Anspruch 7, weiters umfassend zumindest zwei Mehrkammernmodule (20), wobei die Mehrkammernmodule in einer linearen Anordnung ausgerichtet sind.
A semiconductor wafer processing system according to claim 7 further comprising a common process chemical delivery system (24) supplying chemicals to said plurality of said process chambers.
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem nach Anspruch 7, weiters umfassend ein zentrales Verfahrenschemikalien-Abgabesystem (24), welches der Vielzahl an Prozesskammern chemische Substanzen zuführt.
One-piece dual gas faceplate for a showerhead in a semiconductor wafer processing system
Einteilige Doppelgas-Frontplatte für einen Verteilungskopf in einem Verarbeitungssystem für Halbleiterwafer
Closed-loop dome thermal control apparatus for a semiconductor wafer processing system
Kuppelförmige thermische Kontrollvorrichtung mit geschlossenem Arbeitskreis für ein System zur Behandlung von Halbleiterscheiben
Method and apparatus for monitoring processes using multiple parameters of a semiconductor wafer processing system
Methode und Apparat zur Prozesskontrolle mittels mehrerer Parameter eines Halbleiterbehandlungssystemes
APPARATUS FOR COUPLING POWER THROUGH A WORKPIECE IN A SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING SYSTEM
GERÄT ZUR LEISTUNGSEINKOPPELUNG IN EINEM WERKSTÜCK IN EINER HALBLEITERBER-BEARBEITUNGSANLAGE
CATHODE ASSEMBLY CONTAINING AN ELECTROSTATIC CHUCK FOR RETAINING A WAFER IN A SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING SYSTEM
KATHODENANORDNUNG MIT EINEM ELEKTROSTATISCHEN HALTER ZUM HALTEN EINES WAFERS IN EINER HALBLEITERWAFERBEARBEITUNGSANLAGE
A semiconductor wafer processing system according to claim 7, wherein each said load lock chamber (80) further includes a cooling plate (95) disposed below said transfer arm (82) when said transfer arm is in said retracted position.
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem nach Anspruch 7, worin jede Schleusenkammer (80) weiters eine Kühlplatte (95) umfasst, die unterhalb des Transferarms (82) angeordnet ist, wenn sich der Transferarm in der zurückgezogenen Position befindet.
A semiconductor wafer processing system according to claim 7, wherein each said process chamber (40) further comprises a wafer chuck assembly (60) for receiving the wafer from said transfer arm and holding the wafer within said process chamber.
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem nach Anspruch 7, worin jede Prozesskammer (40) weiters eine Waferaufspannanordnung (60) zur Aufnahme des Wafers vom Transferarm und zum Halten des Wafers in der Prozesskammer umfasst.
A semiconductor wafer processing system according to claim 13 wherein said wafer chuck assembly (60) comprises a chuck translation frame (64) for translating the wafer between a load position and a processing position.
Halbleiterwafer-Bearbeitungssystem nach Anspruch 13, worin die Waferaufspannanordnung (60) einen Aufspann-Verschiebungsrahmen (64) zum Verschieben des Wafers zwischen einer Beladeposition und einer Bearbeitungsposition umfasst.
A semiconductor wafer processing system according to Claim 3, wherein said container data processing means (40) is for storing data including the identity of, the processing steps to be performed on and the processing history for each wafer stored in said container.
Halbleiterwafer-Verarbeitungssystem nach Anspruch 3, bei welchem die Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung (40) zum Speichern von Daten einschließlich der Identität jedes in dem Behälter gespeicherten Wafers, der an diesem auszuführenden Verarbeitungsschritte und seiner Verarbeitungsgeschichte dient.
Apparatus for measuring pedestal temperature in a semiconductor wafer processing system
Vorrichtung zur Temperaturmessung eines Halters in eine Halbleiterwaferbearbeitungsanlage
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