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A vacuum processing system
Vertaling van "A vacuum processing system" in Duits
Vakuum-Bearbeitungssystem
A vacuum processing system as defined in claim 13 wherein said rollers are located below said substrate to inhibit particulate contamination of said substrate.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 13, worin die Rollen unter dem Substrat angeordnet sind, um die Kontaminierung des Substrats durch Partikel zu verhindern.
A vacuum processing system as defined in claim 11 wherein said processing chambers include one or more sputtering chambers and one or more preheating chambers.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 11, worin die Bearbeitungskammern eine oder mehr Aufsprühkammern und eine oder mehr Vorheizkammern umfassen.
A vacuum processing system as defined in claim 1 wherein each of said substrate carriers includes means (102,104) for holding a rectangular glass substrate in a vertical orientation with its edges at about 45º with respect to horizontal.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 1, worin jeder der Substratträger Mittel (102,104) aufweist, um ein rechteckiges Glassubstrat in vertikaler Ausrichtung zu halten, wobei seine Kanten um etwa 45º bezüglich der Horizontalen verlaufen.
A vacuum processing system as defined in claim 3 wherein said transport means further includes means for moving said substrate carriers between said first and second substrate carrier positions on said turntable, and said unload lock.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 3, worin die Fördermittel ferner Mittel zum Bewegen der Substratträger zwischen der ersten und zweiten Substratträgerposition auf dem Drehtisch und der Entladeschleuse umfassen.
A vacuum processing system as defined in claim 1 wherein six of said processing chambers are disposed around said buffer chamber and wherein six of said substrate carriers are used for transporting substrates within said system.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 1, worin sechs der Bearbeitungskammern rund um die Pufferkammer angeordnet sind und worin sechs der Substratträger verwendet sind, um Substrate innerhalb des Systems zu fördern.
A vacuum processing system as defined in claim 17 wherein said transport means comprises a plurality of rollers on which said plate rests and means for rotating said rollers to transport said plate.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 17, worin die Fördermittel eine Vielzahl von Rollen aufweisen, auf welchen die Platte ruht, sowie Mittel zum Drehen der Rollen, um die Platte zu fördern.
A vacuum processing system as defined in claim 18 wherein said transport means further includes guide wheels that abut against sides of said plate and maintain said plate in a vertical orientation as it is transported through said system.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 18, worin die Fördermittel ferner Führungsräder aufweisen, die gegen Seiten der Platte anschlagen und die Platte in vertikaler Ausrichtung halten, wenn sie durch das System gefördert wird.
A vacuum processing system as defined in claim 1 wherein each of said substrate carriers comprises a plate having first and second upper edges which intersect at a right angle, said first and second upper edges each having a groove for receiving said substrate.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 1, worin jeder der Substratträger eine Platte mit einer ersten und zweiten Oberkante aufweist, die sich rechtwinklig schneiden, wobei die erste und zweite Oberkante jeweils eine Nut zur Aufnahme des Substrats aufweisen.
A vacuum processing system as defined in claim 8 wherein said control means includes means for enabling said transport means to transport said one of said substrate carriers from said unload lock to said buffer chamber before said unload lock is vented for removal of said substrate.
Vakuum-Bearbeitungssystem, wie umrissen in Anspruch 8, worin die Steuermittel Mittel umfassen, um es den Fördermitteln zu ermöglichen, den einen der Substratträger von der Entladeschleuse zur Pufferkammer zu fördern, bevor die Entladeschleuse zum Entfernen des Substrats belüftet wird.
A vacuum processing system (10) comprising a process chamber (11) and a system pumping device (12) connected thereto is to be tested for leaks.
Eine Vakuumprozessanlage (10), die eine Prozesskammer (11) und eine daran angeschlossene Anlagenpumpvorrichtung (12) aufweist, soll auf Lecks untersucht werden.
method for passing at least one disc-shaped workpiece from a respective fixed annular transport path through an opening within a vacuum processing system, characterized in that the workpiece with respect to the annular conveying path is radially passed.
A Verfahren zum Durchreichen mindestens eines scheibenförmigen Werkstückes von einer jeweils festen ringförmigen Transportbahn durch eine Öffnung innerhalb einer Vakuumbearbeitungsanlage, dadurch gekennzeichnet, dass das Werkstück bezüglich der ringförmigen Transportbahn radial durchgereicht wird.
Sealing apparatus for a vacuum processing system.
Abdichtungsvorrichtung für ein Vakuumbehandlungssystem.
Platen assembly for a vacuum processing system.
Plattenmontierung für eine Vakuumverarbeitungsanlage.
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