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Autofokusvorrichtung
Autofocusing device with a capacitive feedback loop, and method for autofocusing
Autofokusvorrichtung mit kapazitiver Rückkopplungsschleife und Autofokusverfahren
Autofocusing device according to Claim 5, characterized in that the actuator comprises an annular magnet (8) and a coil (7), for moving the magnet (8) in the axial direction.
Autofokusvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Betätigungselement einen ringförmigen Magneten (8) und eine Spule (7) zum Bewegen des Magneten (8) in der axialen Richtung umfasst.
Autofocusing device according to one of Claims 5, 6 or 7, characterized in that the movement sensor (24) measures the movement of the movable lens (3) means capacitively.
Autofokusvorrichtung nach einem der Ansprüche 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Bewegungssensor (24) die Bewegung der beweglichen Linsenmittel (3) kapazitiv misst.
Autofocusing device and projection exposure apparatus with the same.
Automatische Fokussierungsvorrichtung und Projektionsbelichtungsgerät mit einer solchen Anordnung.
The autofocusing device according to anyone of the foregoing claims, wherein said zoom-drive means (61, 64) comprises a pulse motor (61).
Autofokus-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Varioantriebsmittel (61, 64) einen Impulsmotor (61) enthalten.
MICROSCOPE HAVING AN AUTOFOCUSING DEVICE AND AUTOFOCUSING METHOD FOR MICROSCOPES
MIKROSKOP MIT AUTOFOKUSEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR AUTOFOKUSSIERUNG BEI MIKROSKOPEN
The optical detection device is provided with an autofocusing device in order to automatically focus a detection element onto the surface of a circuit board arranged in the test region.
Die optische Detektionseinrichtung ist mit einer Autofokussiereinrichtung versehen, um ein Detektionselement automatisch auf die Oberfläche einer im Prüfbereich angeordneten Leiterplatte zu fokussieren.
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