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These include automatic notch finding, automatic on-board baselining, an enclosed measurement stage with motion interlock, an industrial computer with pre-installed software, and the option to upgrade to fully robotic wafer handling.
Dazu gehören ein automatisches Finden von Nuten (Notches), automatisches integriertes Baselining, ein beigefügter Messtisch mit Bewegungsverriegelung, ein industrieller Computer mit vorinstallierter Software, und der Möglichkeit der Aufrüstung für vollständige Handhabung der Wafer mit Hilfe von Robotersystemen.
The method as claimed in claim 2 or 3, characterized in that in the event of an alarm, an interlock unit is not released by the therapy operating computer, nor is a patient operation released.
Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Alarm weder eine Interlockeinheit durch den Therapie-Betriebs-Rechner noch ein Patientenbetrieb freigegeben wird.
A computer system according to Claim 1 wherein the system includes interlock means for ensuring that both said processors (10,11) do not simultaneously use said system files on said shared disk drive (15).
Rechnersystem nach Anspruch 1, das eine Verriegelungsvorrichtung aufweist, um sicher zu stellen, dass beide Prozessoren (10, 11) nicht gleichzeitig die Systemdateien auf dem gemeinsamen Diskettenspeicher (15) benutzen.
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