The deflection apparatus of claim 1 characterized in that a source of an integrated horizontal retrace pulse is AC coupled to one of the two inputs of the comparator on a second modulated signal so that said second modulated signal does not contribute to the width determining DC potential.
Ablenkvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Quelle eines integrierten Horizontalrücklaufimpulses über eine Wechselspannungskopplung auf einem zweiten Modulationssignal einem der beiden Eingänge des Komparators zugeführt wird, so daß das zweite Modulationssignal zu der die Breite bestimmenden Gleichspannung nicht beiträgt.
Use according to any of Claims 1 to 5, characterized in that a DC potential is applied to the electrodes (6) and the polarity of the electrodes is reversed periodically at constant intervals of time.
Verwendung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass an den Elektroden (6) eine Gleichspannung anliegt und die Elektroden periodisch nach jeweils gleichbleibenden Zeitintervallen umgepolt werden.
A mass spectrometer as claimed in claim 21, wherein a plurality of segments are maintained at substantially the same DC potential.
Massenspektrometer nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von Segmenten auf im wesentlichen demselben Gleichspannungspotential gehalten werden.
An electrostatic chuck for clamping a semiconductor wafer according to claim 1, wherein said first electrically conductive pattern (46) is comprised of a plurality of alternating conductive strips, each said conductive strip being electrically energized with an opposite DC potential of that of adjacent strips.
Elektrostatische Halteplatte zum Halten einer Halbleiterscheibe gemäß Anspruch 1, wobei das erste elektrisch leitende Muster (46) eine Mehrzahl von alternierend leitenden Streifen umfaßt, wobei jeder der leitenden Streifen mit einem den benachbarten Streifen entgegengesetzten Gleichspannungspotential elektrisch gespeist wird.
The scribed frame can be connected to a fixed external DC potential, for example a source or drain potential, thus making it possible to avoid side gating effects.
Der Ritzrahmen kann auf ein festes äußeres DC-Potential, z. B. Source oder Drain-Potential, gelegt werden, und so können Side - Gating Effekte vermieden werden.
The method of claim 23, wherein said bias DC voltage is substantially equal to a DC potential of said exit electrode (50) of said ion trap (20).
Das Verfahren nach Anspruch 23, wobei die DC-Vorspannung im Wesentlichen gleich dem DC-Potential der Austrittselektrode (50) der Ionenfalle (20) ist.
The plasma treatment equipment as claimed in claim 1, wherein the chamber wall and the susceptor electrode are at the same DC potential as said chamber, and are AC shorted.
Plasmabehandlungsanlage nach Anspruch 1, wobei die Kammerwand und die Aufnahmeelektrode auf demselben Gleichspannungspotential sind wie die Kammer und wechselspannungsmäßig kurzgeschlossen sind.
By means of this RF power coupled in, the DC potential at the carrier and thus the ion bombardment at the substrate can be set deliberately.
Über diese eingekoppelte HF-Leistung kann das DC-Potential am Carrier und damit der Ionenbeschuß am Substrat gezielt eingestellt werden.
Apparatus as in claim 12, wherein said source of DC bias potential is lower than the DC potential at the output of said buffer (30).
Vorrichtung nach Anspruch 12, wobei die Quelle des Gleichstromvorspannungspotentials niedriger ist als das Gleichspannungspotential am Ausgang des Puffers (30).
Long-duration AC voltages are limited to a pre-set value without negatively influencing the desired DC potential of the pipeline.
Stationäre AC-Spannungen werden auf einen voreingestellten Wert begrenzt, ohne das gewünschte DC-Potential der Pipeline zu beeinträchtigen.
Resonant circuit as in claim 25, characterized in that the first switch (S'1) is connected to a DC potential (V'b) distinct from that biassing the capacitance (C').
Schwingkreis gemäß Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Schalter (S'1) mit einem Gleichspannungspotential (V'b) verbunden ist, das von dem Potential verschieden ist, das.die Kapazität (C') vorspannt.
The method according to any of claims 40-46, wherein said DC potential is formed using a DC generator and said AC potential is formed using an AC generator.
Verfahren nach einem der Ansprüche 40-46, bei dem das Gleichspannungspotential unter Verwendung eines Gleichspannungsgenerators gebildet wird, und das Wechselspannungspotential unter Verwendung eines Wechselspannungsgenerators gebildet wird.
A bridge rectifier circuit as in Claim 3, wherein said reference voltage is said lower DC potential.
Brückengleichrichterschaltung nach Anspruch 3, wobei die genannte Bezugsspannung das genannte niedrigere DC-Potential ist.