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DRAM-Zellenanordnung
DRAM cell array with vertical transistors and process of manufacture
DRAM-Zellenanordnung mit vertikalen Transistoren und Verfahren zu deren Herstellung
Such a circuit arrangement is, for example, a DRAM cell array with one-transistor storage cells.
Eine solche Schaltungsanordnung ist beispielweise eine DRAM-Zellenanordnung mit Ein-Transistor-Speicherzellen.
With the help of self-adjusting process steps, the DRAM cell array can be produced both in open-bitline and in folded-bitline architecture, with a space requirement per storage cell of 4F2 (where F is the minimum structure size that can be manufactured in the respective technology).
Mit Hilfe selbstjustierender Prozeßschritte ist die DRAM-Zellenanordnung sowohl in Open Bitline- als auch in Folded Bitline-Architektur mit einem Platzbedarf pro Speicherzelle von 4F2 (F: minimale in der jeweiligen Technolgie herstellbare Strukturgröße) herstellbar.
For example, a refresh area is half in the X address direction of the entire storage region of the entire DRAM cell array, another capacitor having the same capacitance value as a capacitor used when the entire DRAM cell array is refreshed is connected in parallel.
Zum Beispiel ist ein Auffrischbereich die Hälfte in der X-Adressenrichtung des gesamten Speicherbereiches des gesamten DRAM-Zellenfeldes, ein anderer Kondensator mit dem gleichen kapazitätswert wie ein Kondensator, der benutzt wird, wenn das gesamte DRAM-Zellenfeld aufgefrischt wird, wird parallel geschaltet.
An ultra dense DRAM cell array and its method of fabrication.
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