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DRAM-Speicherzellen
Method for treating a dielectric used in semiconductor devices and DRAM memory cells obtained
Verfahren zur Behandlung eines Dielektricums zur Verwendung von Halbleitervorrichtungen und so hergestellte DRAM-Speicherzellen
Using the method particularly advantageous bit-line contact holes can be produced in the case of DRAM memory cells having a bit line arranged on the capacitor.
Mit dem Verfahren können besonders vorteilhaft Bitleitungs-Kontaktlöcher bei DRAM-Speicherzellen mit auf dem Kondensator angeordneter Bitleitung hergestellt werden.
A DRAM memory (10) is disclosed, comprising a number of DRAM memory cells (15), which each form one, or several memory cell fields (11).
Es wird ein DRAM-Speicher (10) beschrieben, der eine Anzahl von DRAM-Speicherzellen (15) aufweist, die jeweils ein oder mehrere Speicherzellenfelder (11) bilden.
Ramdom access memory according to claim 1, wherein said memory cells are DRAM memory cells and said memory latches are SRAM cells.
Schreib-Lese-Speicher nach Anspruch 1, wobei die Speicherzellen DRAM-Speicherzellen sind und die Zwischenspeicher SRAM-Zellen sind.
INTEGRATED CIRCUIT COMPRISING DRAM MEMORY CELLS AND THE PRODUCTION METHOD THEREFOR
INTEGRIERTE SCHALTUNG MIT DRAM-SPEICHERZELLEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
Method for treating a dielectric used in semiconductor devices and DRAM memory cells obtained
In DRAM memory cells the individual memory cells are insulated from one another by an insulation trench (6) (STI).
Bei DRAM-Speicherzellen ist es üblich, die einzelnen Speicherzellen mit einem Isolationsgraben (6) (STI) voneinander zu isolieren.
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