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DRAM-Speicherzellen
Method for treating a dielectric used in semiconductor devices and DRAM memory cells obtained
Verfahren zur Behandlung eines Dielektricums zur Verwendung von Halbleitervorrichtungen und so hergestellte DRAM-Speicherzellen
Using the method particularly advantageous bit-line contact holes can be produced in the case of DRAM memory cells having a bit line arranged on the capacitor.
Mit dem Verfahren können besonders vorteilhaft Bitleitungs-Kontaktlöcher bei DRAM-Speicherzellen mit auf dem Kondensator angeordneter Bitleitung hergestellt werden.
A DRAM memory (10) is disclosed, comprising a number of DRAM memory cells (15), which each form one, or several memory cell fields (11).
Es wird ein DRAM-Speicher (10) beschrieben, der eine Anzahl von DRAM-Speicherzellen (15) aufweist, die jeweils ein oder mehrere Speicherzellenfelder (11) bilden.
INTEGRATED CIRCUIT COMPRISING DRAM MEMORY CELLS AND THE PRODUCTION METHOD THEREFOR
INTEGRIERTE SCHALTUNG MIT DRAM-SPEICHERZELLEN UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR
Method for treating a dielectric used in semiconductor devices and DRAM memory cells obtained
Verfahren zur Behandlung eines Dielektricums zur Verwendung von Halbleitervorrichtungen und so hergestellte DRAM-Speicherzellen
In DRAM memory cells the individual memory cells are insulated from one another by an insulation trench (6) (STI).
Bei DRAM-Speicherzellen ist es üblich, die einzelnen Speicherzellen mit einem Isolationsgraben (6) (STI) voneinander zu isolieren.
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