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Equipment Front End Module
Vertaling van "Equipment Front End Module" in Duits
Equipment Front End Module
A fully automatic EFEM (Equipment Front End Module) also supports the processing of thin wafers.
Ein vollautomatisches EFEM (Equipment Front End Module) unterstützt auch die Verarbeitung von dünnen Wafern.
With a wafer handling system within an Equipment Front End Module (EFEM) and almost maintenance-free hardware components, the MicroProf FS offers high throughput and is the perfect workhorse.
Mit einem Waferhandlingsystem innerhalb eines Equipment Front End Moduls (EFEM) und nahezu wartungsfreien Hardwarekomponenten bietet der MicroProf FS einen hohen Durchsatz und ist das perfekte Arbeitspferd.
Now get an overview of the different tool categories with the videos of our 1) fully automatic tools with Equipment Front End Module, 2) the semi-automatic tool with Material Handling Unit and 3) the smaller, manual devices.
Verschaffen Sie sich nun einen Überblick über die verschiedenen Gerätekategorien mit den Videos zu unseren 1) vollautomatischen Geräten mit Equipment Front End Module, 2) des halbautomatischen Geräts mit Material Handling Unit und 3) den kleineren, manuellen Geräte.
The standard fully automated wafer metrology tools - FE, FS, AP and DI - combine the capabilities of the worldwide established MicroProf 300, with a wafer handling system within an Equipment Front End Module (EFEM).
Die standardisierten vollautomatischen Wafer-Metrologie-Messgeräte - FE, FS, AP und DI - kombinieren die Fähigkeiten des weltweit etablierten MicroProf 300 mit einem Wafer-Handlingsystems innerhalb eines Equipment Front End Moduls (EFEM).
It combines the capabilities of the worldwide established MicroProf 300 with a wafer handling system within an Equipment Front End Module (EFEM) and is equipped with filter units (FFU) to ensure the ISO Class 3 clean room conditions.
Er verbindet die Fähigkeiten des weltweit etablierten MicroProf 300 mit einem Wafer-Handling System innerhalb eines Equipment Front End Module (EFEM) und ist mit Filterlüftereinheiten (FFU) ausgestattet, die die ISO-Klasse-3-Reinraumbedingungen innerhalb des Geräts sicherstellen.
Another form of automation is the integration with wafer handlers (Equipment Front End Module, EFEM). The Condor Sigma W12 inferfaces with various types of wafer handlers.
Die Condor Sigma kann mit den unterschiedlichsten, am Marktverfügbaren Waferhändlern (Equipment Front End Module, EFEM) integriert werden.
Depending on the individual requirements, it is possible to choose between semi-automatic or fully automatic EFEM (equipment front end module), which also supports the processing of thin wafers.
Je nach den individuellen Anforderungen kann zwischen halb- oder vollautomatischen EFEM (equipment front end module) gewählt werden, welches auch die Prozessierung von dünnen Wafern unterstützt.
As an example, EVG's new flagship model in the GEMINI FB fusion wafer bonder family, launched at SEMICON Taiwan 2011, is now also available with an optional equipment front end module, a faster handling system and a local material buffer.
Als Beispiel ist neues Flaggschiffbaumuster EVGS in der Fusionswafer bonder Familie der ZWILLINGE FB, gestartet an SEMICON Taiwan 2011, jetzt auch mit einem Sonderausrüstungsvorderseiteblock, einem schnelleren Verladesystem und einem lokalen materiellen Buffer erhältlich.
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