Vertaling van "Integrated micro system according" in Duits
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Integriertes Mikrosystem nach
Integrated micro system according to one of the above claims, characterised in that it contains means (12) for heat exchange, in particular for cooling the laser system.
Integriertes Mikrosystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es Mittel (12) zum Wärmeaustausch, insbesondere zur Kühlung des Lasersystems enthält.
Integrated micro system according to one of the above claims, characterised in that the active self-adjustment of the diode-pumped solid-state laser (8) is effective during the entire duration of operation of the laser in order to maintain a nominal position of at least some optical elements.
Integriertes Mikrosystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Selbstjustierung des diodengepumpten Festkörperlasers (8) über die gesamte Betriebsdauer des Lasers wirksam ist, um eine Sollposition wenigstens einiger optischer Elemente einzuhalten.
Integrated micro system according to one of the above claims, characterised in that it contains electronic circuits (22), in particular control and regulating circuits for the laser system and its connections, sensors (21), actuators (27).
Integriertes Mikrosystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es elektronische Schaltungen (22), insbesondere Steuer- und Regelkreise für das Lasersystem und ihre Verbindungen, Sensoren (21), Aktuatoren (27) enthält.
Integrated micro system according to claim 6, characterised in that the position control of elements of the laser system (8), in particular of optical elements of the system, is carried out fluidically by flow-movement of a medium which is delivered or removed.
Integriertes Mikrosystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerung der Lage von Elementen des Lasersystems (8), insbesondere von optischen Elementen des Systems, fluidisch erfolgt durch Strömungsbewegung eines Mediums, das zu- oder abgeführt wird.
Integrated micro system according to claim 1, characterised in that it is designed for setting a diode-pumped solid-state laser (8) along an axis (optical axis 7) and its control/regulation/cooling and for coupling energy in and out.
Integriertes Mikrosystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß es zum Einstellen eines diodengepumpten Festkörperlasers (8) entlang einer Achse (optische Achse 7) und dessen Steuerung/Regelung/Kühlung, Ein- und Auskopplung von Energie ausgebildet ist.
Integrated micro system according to claim 6, characterised in that the cooling channels (12) of parallel V-grooves (2) in the direction of the crystal lattice of the semi-conductor base are arranged as near as possible to the diode laser (8)
Integriertes Mikrosystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Kühlkanäle (12) aus parallelen V-Gruben (2) in Richtung des Kristallgitters der Halbleilterbasis möglichst nahe an dem Diodenlaser (8) angeordnet sind.
Integrated micro system according to claim 6, characterised in that heat barriers are formed in the micro system by anisotropically etched V-grooves (2) between the areas of elements of different temperature requirements (20).
Integriertes Mikrosystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Wärmebarrieren durch die anisotrop geätzten V-Gruben (2) zwischen Bereichen mit Elementen unterschiedlicher Temperaturanforderungen erfaßt (20) in dem Mikrosystem gebildet sind.
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