Vertaling van "Method for plasma etching" in Duits
We konden deze vermelding niet vinden. Er worden benaderende resultaten weergegeven. Controleer je spelling of stel voor deze term aan het woordenboek toe te voegen.
PLASMAÄTZVERFAHREN
Verfahren zum Plasmaätzen
METHOD FOR PLASMA ETCHING USING PERIODIC MODULATION OF GAS CHEMISTRY
A method for plasma etching semiconductor substrates comprising the steps of: mounting the semiconductor substrate in a plasma reactor; and exposing the semiconductor substrate to a gas plasma including methane and hydrogen characterised in that the plasma further includes a trialkylboron.
Verfahren zum Plasmaätzen von Halbleitersubstraten, umfassend die Schritte: Einsetzen des Halbleitersubstrates in einen Plasmareaktor; und Aussetzen des Halbleitersubstrates einem Gasplasma, welches Methan und Wasserstoff einschließt, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma ferner ein Trialkylboran einschließt.
Method for plasma etching dielectric layers with high selectivity and low microloading effect
Verfahren zum Plasma-Ätzen von dielektrischen Schichten mit hoher Selektivität und geringem Mikroloading-Effekt
Method for plasma etching a chromium layer suitable for photomask fabrication
Er worden alleen voorbeelden gegeven om u te helpen het woord of de woordcombinatie waarop u hebt gezocht, te vertalen. Deze worden niet door ons geselecteerd of gevalideerd en kunnen ongepaste taal bevatten. Wij vragen u melding te maken van voorbeelden die dienen te worden aangepast of verwijderd. Vertalingen met grof of informeel taalgebruik worden meestal rood of oranje gemarkeerd.