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Method of plasma etching
Vertaling van "Method of plasma etching" in Duits
Verfahren zum Plasmaätzen
Verfahren zum Plasma-Ätzen
Method of plasma etching silicon dioxide, selectively to silicon nitride and polysilicon.
Verfahren zum Plasmaätzen für Siliziumdioxid, mit Selektivität für Siliziumnitrid und Polysilizium.
Method of plasma etching high-K dielectric materials with high selectivity to underlying layers
Verfahren zum Plasmaätzen von Materialien mit hoher Dielektrizitätskonstante mit hoher Selektivität zu darunterangeordneten Schichten
Method of plasma etching metals that form usually low volatility chlorides.
Verfahren zum Plasma-Ätzen von metallischen Werkstoffen, die üblicherweise niedrig flüchtige Chloride bilden.
Method of plasma etching a film made of one of a ferroelectric material, high dielectric constant material or platinum
Verfahren zum Plasma-Ätzen einer Schicht aus ferroelektrischem Material oder ein Material mit hoher dielektrischer Kontante oder aus Platin
A method of plasma etching silica at a faster rate than silicon in an article comprising both.
Verfahren zum Plasmaätzen von Siliciumdioxid mit einer grösseren Geschwindigkeit als die für Silicium bei einem beide Stoffe enthaltenden Gegenstand.
Method of plasma etching doped polysilicon layers with uniform etch rates
Plasmaätzverfahren von dotierten Polysilizium Schichten mit gleichmässigen Ätzgeschwindigkeiten
METHOD OF PLASMA ETCHING ORGANIC ANTIREFLECTIVE COATING
VERFAHREN ZUR ÄTZUNG EINER ORGANISCHEN ANTIREFLECTIONSSCHICHT
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