Microsensor for thermal flux on a conducting substrate with porous sections
Mikrosensor für thermischen Fluss auf einem leitenden Substrat mit porösen Fächer
Spectrometers are therefore large pieces of equipment. Microsensor
Spektrometer sind daher recht umfangreiche Geräte. Mikrosensor
Microsensor with a resonator structure according to claim 7, characterized in that the structure for detuning the resonant frequency is a seismic mass (3).
Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Struktur zur Verstimmung der Resonanzfrequenz eine seismische Masse (3) ist.
Microsensor according to claims 1-3 characterized in that the nutrient placed in the reservoir (11) contains a substrate incorporating micro nutrients and an electron acceptor or an electron donor.
Mikrosensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Nährstoff, welcher im Reservoir (11) angeordnet ist, ein Substrat enthält, in welchem Mikro-Nährstoffe und ein Elektronenakzeptor oder ein Elektronendonor inkorporiert sind.
Microsensor for detection of d-amino-acids
Mikrosensor zur Bestimmung von D-Aminosäuren
Microsensor according to claim 1 characterized in that the casing (7) surrounds both reaction chamber (10) and reservoir (11).
Mikrosensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (7) sowohl die Reaktionskammer (10) als auch das Reservoir (11) umgibt.
Microsensor according to claim 1 characterized in that the passage is defined by the transducer (1) on one side and the casing (7) on the other side.
Mikrosensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchtritt auf einer Seite vom Transducer (1) und auf der anderen Seite vom Gehäuse (7) gebildet ist.
Microsensor with a resonator structure according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the resonator structure (1; 11) consists of single-crystal silicon and the heating element (10; 16) is configured as a doped resistance zone in the silicon.
Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Resonatorstruktur (1;11) aus einkristallinem Silizium besteht und das Heizelement (10;16) als eine dotierte widerstandszone im Silizium ausgestaltet ist.
Microsensor with a resonator structure according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the heating element (10; 16) is configured as a thin-film resistor on the surface of the resonator structure.
Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizelement (10;16) als Dünnfilmwiderstand auf der Oberfläche der Resonatorstruktur ausgestaltet ist.
Microsensor according to Claim 1, characterised in that the excitation means comprise a laser diode (24) modulated at the resonant frequency of the bar (16) and delivering light pulses, an optical fibre (20) directing these light pulses onto the bar.
Mikrosensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erregungsmittel eine Laserdiode (24) umfassen, moduliert mit der Resonanzfrequenz des Stabes (16) und Lichtimpulse abgebend, wobei eine optische Faser (20) diese Lichtimpulse auf den Stab richtet.
Microsensor according to claim 1, characterized in that the passage (12) exhibits means (C,20) for facilitating or influencing on the diffusion of a nutrient or a second medium.
Mikrosensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchtritt (12) Mittel (C, 20) zur Erleichterung oder Beeinflussung der Diffusion eines Nährstoffs oder eines Sekundärmediums aufweist.
Microsensor according to Claim 2, characterised in that the illumination means comprise a light-emitting diode (28) connected to an optical fibre (20) directing the light beam coming from the diode to the bar.
Mikrosensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungsmittel eine elektrolumineszente Diode (28) umfassen, angeschlossen an eine optische Faser (20), die den von der Diode ausgehenden Lichtstrahl auf den Stab richtet.
Microsensor according to Claim 8, characterised in that the separation means (34) are common to the means for measuring the resonant frequency and to the means for measuring the optical thickness of the bar.
Mikrosensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Trennen (34) den Resonanzfrequenz-Meßmitteln und den Mitteln zum Messen der optischen Dicke des Stabes gemeinsam sind.