Operates on high RF frequency with a reliable range of up to 30 meters apart from the controller.
Arbeitet mit hoher HF-Frequenz und einer zuverlässigen Reichweite von bis zu 30 Metern vom Controller entfernt.
A DC block separates or blocks DC voltage (galvanic isolation) and let pass RF frequency along a coaxial transmission line.
Ein DC-Block trennt oder blockiert die DC Spannung (galvanische Isolierung) und lässt die HF-Frequenz entlang einer koaxialen Übertragungsleitung passieren.
The reactor of Claim 22 wherein said cleaning RF power supply has an RF frequency less than that of said plasma RF source power supply to limit penetration of RF power from said capacitive cleaning electrode through said plasma.
Reaktor nach Anspruch 23, bei welchem die reinigende HF-Leistungseinspeisung eine HF-Frequenz hat, die kleiner ist als die der Plasma-Quellen-HF-Leistungseinspeisung, um das Eindringen von HF-Leistung aus der kapazitiven Reinigungselektrode durch das Plasma zu begrenzen.
Stable presentation remote: Equipped with top-grade microchip, up to 100 meters wireless range and 360-degree control as well as 2.4G RF frequency.
Stabile Präsentationsfernbedienung: mit hochwertigem Mikrochip ausgestattet, mit Reichweite bis zu 100 Meter und 360-Grad-Steuerung ohne Richtungsbegrenzung sowie 2.4G HF-Frequenz.
The plasma reactor of Claim 5 wherein said RF bias source has a fixed RF frequency and said bias RF match circuit provides an RF match of said RF bias source to said wafer pedestal at said fixed RF frequency of said RF bias source.
Plasmareaktor nach Anspruch 5, bei dem die HF-Vorspannquelle eine feste HF-Frequenz hat und die Vorspann-HF-Abstimmschaltung eine HF-Abstimmung der HF-Vorspannquelle mit der Waferhalterung bei der festen HF-Frequenz der HF-Vorspannquelle erzeugt.
This results in high operational quality and a good homogeneity of the RF frequency field.
Low loss for excellent electrical performance at RF frequency
Niedrige Verlustleistung für ausgezeichnete elektrische Eigenschaften bei RF-Frequenzen
Excellent RF frequency and distortion characteristics for high linearity
Ausgezeichnete HF-Frequenz- und Verzerrungseigenschaften für hohe Linearitäten
The antenna apparatus according to claim 4, further comprising a transmission array antenna for transmitting said transmission RF frequency signal.
Shielded cable assemblies and harnesses - cable assemblies for high speed digital signal transmission or RF frequency cable assemblies.
Abgeschirmte Kabelbaugruppen und Kabelbäume: Kabelbaugruppen für digitale Signalübertragung mit hoher Geschwindigkeit oder HF-Frequenz-Kabelbaugruppen.
A method according to claim 1, wherein the second high-frequency power is high-frequency power having an RF frequency.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die zweite Hochfrequenzleistung eine Hochfrequenzleistung ist, die eine RF-Frequenz aufweist.
An apparatus according to claim 14, wherein said means for supplying the second high-frequency power comprises means for supplying high-frequency power having an RF frequency.
Vorrichtung nach Anspruch 14, wobei die Mittel zum Zuführen der zweiten Hochfrequenzleisitung Mittel zum Zuführen von Hochfrequenzleistung, die eine RF-Frequenz aufweist, umfassen.
Method according to claim 4, characterized in that the RF frequency of the second irradiation step is about twice as high as that of the first irradiation step.
Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die RF Frequenz des zweiten Beaufschlagungsschritts ungefähr zweimal so hoch ist wie die des ersten Beaufschlagungsschritts.