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Dynamische Speicheranordnung
The memory cell capacitance of a dynamic memory device is typically formed with a storage capacitor disposed in the substrate of the memory device.
Die Speicherzellenkapazität eines dynamischen Speicherbausteins ist üblicherweise mit einen Speicherkondensator gebildet, der in dem Substrat des Speicherbausteins angeordnet ist.
A semiconductor memory according to any preceding claim, further characterised by being adapted for a dynamic memory device having a Vcc/2 precharge system.
Halbleiterspeicher nach einem der vorangegangenen Ansprüche, ferner dadurch gekennzeichnet, daß er für eine dynamische Speichereinrichtung mit einem Vcc/2-Voraufladungssystem geeignet ist.
A dynamic memory device operable in accordance with the method as claimed in any preceding claim.
Dynamisches Speichergerät, das gemäß dem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche betrieben werden kann.
A dynamic memory device of claim 1, in which the impurity concentration of said first portion (1', 102) is 10¹⁷ atoms/cm³ or less.
Dynamische Speicheranordnung nach Anspruch 1, in welcher die Fremdatomkonzentration des ersten Abschnittes (1',102) 10¹⁷ Atome/cm³ oder weniger beträgt.
A dynamic memory device of claim 1 further comprising a second insulating film (8', 104) formed on said first side wall (44) of said groove (4,114).
Dynamische Speicheranordnung nach Anspruch 1, die weiterhin eine zweite Isolierschicht (8',104) aufweist, die auf der ersten Seitenwand (44) der Nut (4,114) ausgebildet ist.
A dynamic memory device according to claim 1 or 2 further comprising a dedicated screening terminal (8) for receiving signals external to the dynamic memory device, the screening signal (SCR) being input from the dedicated screening terminal (8).
Dynamisches Speicherbauelement nach Anspruch 1 oder 2, welches ferner einen speziellen Screeninganschluß (8) für die Aufnahme von Signalen außerhalb des dynamischen Speicherbauelementes aufweist, wobei das Screeningsignal (SCR) von dem speziellen Screeninganschluß (8) aus eingeben wird.
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