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a method of plasma processing
Vertaling van "a method of plasma processing" in Duits
Verfahren zur Plasmaverarbeitung
A method of plasma processing as described in claim 7 wherein said step of adding comprises the step of totaling said radio frequency currents at a common electrical point.
Verfahren zur Plasmaverarbeitung nach Anspruch 7, bei dem der Additionsschritt den Schritt umfaßt, bei dem die hochfrequenten Ströme an einem gemeinsamen elektrischen Punkt summiert werden.
A method of plasma processing as described in claim 2 wherein said step of dividing said potential further comprises the step of creating at least one bias voltage and providing said bias voltage to at least one of said amplifiers.
Verfahren zur Plasmaverarbeitung nach Anspruch 2, bei dem der Schritt des Aufteilens des Potentials ferner den Schritt umfaßt, bei dem wenigstens eine Vorspannung erzeugt wird und die Vorspannung für wenigstens einen der Verstärker bereitgestellt wird.
A method of plasma processing as described in claim 14 or 15 wherein said amplifiers have a threshold voltage and wherein said radio frequency drive signal is large compared to said threshold voltage of said amplifiers.
Verfahren zur Plasmaverarbeitung nach Anspruch 14 oder 15, bei dem die Verstärker eine Schwellenspannung besitzen und bei dem das Hochfrequenz-Treibersignal im Vergleich zu der Schwellenspannung der Verstärker groß ist.
A method of plasma processing as described in claim 2 and further comprising the step of establishing a low frequency impedance for at least one of said plurality of amplifiers causing said potential to be divided at least in part as a result of said low frequency impedance.
Verfahren zur Plasmaverarbeitung nach Anspruch 2, das ferner den Schritt umfaßt, bei dem für wenigstens einen der mehreren Verstärker eine Niederfrequenzimpedanz gebildet wird, so daß das Potential als Ergebnis der Niederfrequenzimpedanz wenigstens teilweise unterteilt wird.
A method of plasma processing as described in claim 1 wherein said step of dividing said potential comprises the steps of connecting said plurality of amplifiers in a series string and impressing said potential across said series string.
Verfahren zur Plasmaverarbeitung nach Anspruch 1, bei dem der Schritt des Aufteilens des Potentials die Schritte umfaßt, bei denen die mehreren Verstärker in einer Reihenschaltung verbunden werden und das Potential über die Reihenschaltung angelegt wird.
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