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Arrangement and a method for reducing contamination with particles on a substrate in a process tool
Vorrichtung und Verfahren zur Verminderung von der Kontamination mit Partikeln auf einem Substrat in einer Prozesseinrichtung
Using the service app as a process tool your staff can quickly and directly respond to the guests' wishes and get the service standard of your house maintained through automated alerts.
Mit Hilfe der Service-App als Prozess-Tool kann Ihr Personal durch die automatisierte Benachrichtigung zeitnah und direkt auf die Gästewünsche eingehen und den Servicestandard Ihres Hauses aufrecht erhalten.
The system of claims 1 or 12, wherein at least one secondary canister is connected to a process tool.
System gemäß Anspruch 1 oder 12, wobei mindestens ein Sekundärkanister mit einem Prozesswerkzeug verbunden ist.
When information is needed about the status (e.g. current time of use, setting parameters), storage location or other data for a process tool, the use of an RFID tag glued into the tool will provide it.
Wenn Sie Informationen über den Zustand (z.B. aktuelle Einsatzzeit, Einstellparameter), über den Lagerort oder weitere Daten eines Bearbeitungswerkzeugs benötigen, so liefert Ihnen diese ein RFID- Tag, der in das Werkzeug eingeklebt wird.
Offering enhanced performance in a modular package, EPX pumps can be integrated onto a process tool or mounted remotely.
EPX-Pumpen stellen verbesserte Leistung in einer modularen Bauweise bereit und können daher in ein Prozesswerkzeug integriert oder ferninstalliert werden.
In addition to having environmental benefits, the iSYS system lowers the utility cost for abatement and vacuum pumping on a process tool by more than 20%.
Zusätzlich zum Haben des Umweltnutzens, senkt die iSYS Anlage die Dienstkosten für Abnahme und das Vakuum, das auf ein Prozesshilfsmittel durch mehr als 20% pumpt.
Primary Pumps Reducing our customers' energy use in the semiconductor industry process pumps are one of the largest energy users on a process tool which in turn can account for over a third of a fab's energy use (SEMATECH Energy research).
Was die Reduzierung des Energieverbrauchs unserer Kunden betrifft, sind Prozesspumpen einer der größten Energieverbraucher in einer Prozessanlage, die wiederum für mehr als ein Drittel des Energieverbrauchs einer Fertigungsanlage verantwortlich sein kann (SEMATECH-Untersuchung zum Energieverbrauch).
SYSTEM FOR HANDLING OF WAFERS WITHIN A PROCESS TOOL
However, it does not replace the laboratory but serves as a process tool for feed forward or feed back control.
Das Messgerät ist kein Ersatz für das Labor, sondern dient als Prozess-Tool für die Steuerung oder Regelung des Prozesses.
Method for inspection of substrates according to claim 6 wherein said inspection is carried out within a process tool by an inspection apparatus integrated into said process tool and wherein said inspection is carried out directly after processing said substrate (8) with said process tool.
Methode zur Inspektion von Substraten gemäß Anspruch 6, bei der die genannte Inspektion innerhalb eines Prozeßwerkzeuges durch einen in das genannte Prozeßwerkzeug integrierten Inspektionsapparat ausgeführt wird, und bei der die genannte Inspektion direkt nach Bearbeitung des genannten Substrats (8) mit dem genannten Prozeßwerkzeug ausgeführt wird.
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