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ein zweites Filterelement
Substrate processing equipment as claimed in any preceding claim, wherein the filter (F) comprises a first filter element having meshes and a second filter element having meshes which are small in comparison with those in the first filter element.
Vorrichtung zum Behandeln von Substraten, wie in irgendeinem vorhergehenden Anspruch beansprucht, worin das Filter (F) ein erstes Filterelement mit Maschen und ein zweites Filterelement mit Maschen umfaßt, die im Vergleich zu jenen des ersten Filterelements klein sind.
A filter according to claim 9 and further including a second filter element comprising a relatively thin disc-shaped element extending transversely across said cartridge body (64) and axially spaced from the first filter element.
Filter nach Anspruch 9, welcher ferner ein zweites Filterelement mit einem relativ dünnen scheibenförmigen Element umfaßt, das sich quer über den Patronenkörper (64) erstreckt und axial vom ersten Filterelement beabstandet ist.
A dust extraction module according to any one of claims 31 to 41, wherein the filter (60) comprises a first filter element for filtering course dust and a second filter element for filtering finer dust than the first filter element.
Staubabsaugmodul nach einem der Ansprüche 31 bis 41, wobei der Filter (60) ein erstes Filterelement zum Filtern von grobem Staub und ein zweites Filterelement zum Filtern von feinerem Staub als das erste Filterelement aufweist.
A method as in claims 4 to 6, comprising the step of inserting at least two filter components (39, 42) consisting in materials dissimilar one from another and constituting a second filter element (39) and a third filter element (42).
Verfahren nach den Patentansprüchen von 4 bis 6, enthaltend die Phase des Einsetzens von wenigstens zwei Filterkomponenten (39, 42), bestehend aus voneinander unterschiedlichen Materialien und ein zweites Filterelement (39) und ein drittes Filterelement (42) bildend.
An apparatus according to any of claims 1 or 2, wherein the fluted filtering means comprises a first filter element (62) and a second filter element (62) located side by side in the housing.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei das kannelierte Filtermittel ein erstes Filterelement (62) und ein zweites Filterelement (62) aufweist, die Seite an Seite in dem Gehäuse angeordnet sind.
The inverse flow depth filter assembly according to claim 1, further comprising a second filter element (32) in said filter cartridge (10), the second filter element (32) being a dissimilar element stacked on atop the coalescent material (30).
Tiefenfilteranordnung mit Umkehrströmung nach Anspruch 1, weiterhin enthaltend ein zweites Filterelement (32) in der Filterkartusche (10), das ein auf der Oberseite des Coalescer-Materials (30) angeordnetes unähnliches Element ist.
In addition, the semiconductor component (1) contains a first filter element (31), which is a Bragg filter, and a second filter element (32), which is a metal plasmonic filter.
Ferner beinhaltet das Halbleiterbauteil (1) ein erstes Filterelement (31), das ein Bragg-Filter ist, und ein zweites Filterelement (32), das ein metallischer plasmonischer Filter ist.
A second filter element is included in the scope of delivery.
Im Lieferumfang des Gehäuses ist bereits ein Filterelement enthalten.
Ultrafiltration device according to Claim 5 or Claim 6, characterised in that it includes inside the housing at least a second filter element, made from porous substances, stacked on the filter element made from the source rock.
Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass sie wenigstens ein zweites filtrierendes Element umfasst, das dem ersten aus Muttergestein realisierten Element (5) im Inneren des Gehäuses überlagert ist.
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