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Application of an accelerometer according to any preceding claim to seismic prospecting.
Anwendung eines Beschleunigungsmessers gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche zur seismischen Erkundung.
An accelerometer according to any preceding claim, characterised in that said semiconductor is silicon.
Beschleunigungssensor nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Halbleiter Silizium ist.
The semiconductor accelerometer according to claim 8 wherein the solder layers extend inward of edges of the cantilever free end (63).
Halbleiter-Beschleunigungsmesser nach Anspruch 8, bei dem sich die Lötmittel-Schichten von Rändern des freien Endes (63) des Auslegers einwärts erstrecken.
A multi-mode accelerometer arrangement for sensing the acceleration of an object along X, Y and Z axes comprising an accelerometer according to any of claims 1 to 8 for each of said axes.
Mehrmoden-Beschleunigungsmesser-Anordnung (10) zum Erfassen der Beschleunigung eines Objekts in Richtung von X-, Y- und Z-Achsen, die für jede der Achsen einen Beschleunigungsmesser nach einem der Ansprüche 1 bis 8 aufweist.
An accelerometer according to any one of the preceding claims wherein the electrically conductive means is adhesive.
Beschleunigungsmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die elektrisch leitfähigen Mittel haftend sind.
An accelerometer according to any preceding claim, wherein the silicon support is oriented substantially along a single crystallographic plane.
Ein Beschleunigungsmesser nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, worin der Siliziumträger im wesentlichen längs einer einzelnen kristallographischen Ebene orientiert ist.
An accelerometer according to any of the preceding claims, wherein the axis and the further axes lie in a common plane.
Beschleunigungsmesser gemäß einem der vorausgehenden Ansprüche, wobei die Achse und die weiteren Achsen in einer gemeinsamen Ebene liegen.
An accelerometer according to any preceding claim, wherein the seismic mass is secured by a tension member to a base plate.
Beschleunigungsmesser nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem die seismische Masse durch ein Spannelement an einer Grundplatte befestigt ist.
An accelerometer according to any preceding claim, wherein the first and second layers of adhesive are formed from a silicone based adhesive.
Ein Beschleunigungsmesser nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, worin die ersten und zweiten Schichten des Adhäsionsmittels aus einem Adhäsionsmittel auf Silikonbasis gebildet sind.
An accelerometer according to the preceding claim in which compression of the cylinder by the seismic mass increases stress in the optical fibre.
Beschleunigungsmesser nach dem vorangehenden Anspruch, bei dem die Kompression des Zylinders durch die seismische Masse die Spannung in der optischen Faser steigert.
An accelerometer according to claim 1 or 2 which is formed in single crystal silicon.
Beschleunigungsmesser nach Anspruch 1 oder 2, welcher in einem Silicium-Einkristall ausgebildet ist.
An accelerometer according to any preceding claim in which the seismic mass is coaxially constrained within first and second cylinders of compliant material, each cylinder being circumferentially wound with optical fibre.
Beschleunigungsmesser nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem die seismische Masse zwischen einem ersten und einem zweiten Zylinder aus nachgiebigem Material gefesselt ist, wobei jeder Zylinder in Umfangsrichtung mit optischer Faser umwickelt ist.
An accelerometer according to any of the preceding claims, wherein the means for detecting bending stress comprises a piezoresistor at one end of each of the spring members from which the other mass portion is supported.
Beschleunigungsmesser gemäß einem der vorausgehenden Ansprüche, wobei das Mittel zum Erfassen von Biegespannung an einem Ende jedes der Federelemente, von denen der andere Massebereich abgestützt ist, einen Piezowiderstand umfasst.
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