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Lichtbogenquellen-Filter
An arc source filter (1) according to any preceding claim, wherein said preselected charged particles are directed towards a workpiece (8).
Lichtbogenquellen-Filter (1) nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die ausgewählten geladenen Teilchen auf ein Werkstück gerichtet werden.
An arc source filter (1) according to claim 4, wherein the non-linear plasma duct (5) traverses an angle of less than 60º.
Lichtbogenquellen-Filter (1) nach Anspruch 4, wobei die nichtlineare Plasmaleitung (5) einen Winkel von weniger als 60º durchläuft.
An arc source filter (1) according to claim 7, including means for electrically biasing said workpiece (8).
Lichtbogenquellen-Filter (1) nach Anspruch 7, der eine Einrichtung zum elektrischen Vorspannen des Werkstücks (8) enthält.
An arc source filter (1) according to claim 7 or 8, which includes focusing means (9) for generating a magnetic field to further direct said preselected charged particles toward a particular location on the workpiece (8).
Lichtbogenquellen-Filter (1) nach Anspruch 7 oder 8, der eine Fokussiereinrichtung (9) enthält, die ein Magnetfeld erzeugt, um die ausgewählten geladenen Teilchen weiter auf eine bestimmte Position auf dem Werkstück (8) zu richten.
An arc source filter (1) according to claim 1, including means for maintaining the temperature of said anode (3) below a predetermined value.
Lichtbogenquellen-Filter (1) nach Anspruch 1, der eine Einrichtung enthält, die die Temperatur der Anode (3) unter einem vorgegebenen Wert hält.
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