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atomic force microscope as set
Vertaling van "atomic force microscope as set" in Duits
Kraftmikroskop
Atomkraftmikroskop
An atomic force microscope as set forth in any one of the preceding claims, where said laser means (18) comprises a diode laser or a single-mode diode laser.
Kraftmikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Lasermittel (18) einen Diodenlaser oder einen Einmoden-Diodenlaser beinhalten.
An atomic force microscope as set forth in claim 1 or 2, further comprising reflective means (16) coupled to the back of the cantilever beam for reflecting the transmitted laser beam.
Kraftmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, das desweiteren Reflektionsmittel (16) beinhaltet, die an die Rückseite des einseitig festgelegten Trägerarms angekoppelt sind, um den eingestrahlten Laserstrahl zu reflektieren.
A method of fabricating a probe for an atomic force microscope as set forth in claim 18, wherein an annealing process is carried out before a portion to be etched is etched.
Ein Verfahren zum Fertigen einer Sonde für ein Atomkraftmikroskop gemäß Anspruch 18, in dem vor dem Ätzen eines zu ätzenden Teils ein Glühprozeß ausgeführt wird.
A probe for an atomic force microscope as set forth in claim 1, wherein the probe tip and deflections of the cantilever portion (1) lie in the X direction of the quartz crystal.
Eine Sonde für ein Atomkraftmikroskop gemäß Anspruch 1, in dem die Sondenspitze und Auslenkungen des Auslegerteils (1) in der X-Richtung des Quarzkristalls liegen.
Method of generating a topographical image of a surface of a workpiece (24) by using an atomic force microscope as set forth in any one of the preceding claims.
Verfahren zum Erzeugen einer topographischen Abbildung der Oberfläche einer Probe (24) durch Verwenden eines Kraftmikroskopes nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
A method of fabricating a probe for an atomic force microscope as set forth in claim 11, further comprising the step of irradiating an ion beam from a side of the probe tip to enhance the aspect ration of the probe tip.
Ein Verfahren zum Fertigen einer Sonde für ein Atomkraftmikroskop gemäß Anspruch 11, das ferner den Schritt des Strahlens eines Ionenstrahls von einer Seite der Sondenspitze zum Erhöhen des Seitenverhältnisses der Sondenspitze umfaßt.
A probe for an atomic force microscope as set forth in claim 1, wherein a second cantilever capable of vibrating with the first-mentioned cantilever having the probe portion (2) is formed integrally with the probe.
Eine Sonde für ein Atomkraftmikroskop gemäß Anspruch 1, in dem ein zweiter Ausleger, der mit dem erstgenannten Ausleger, der den Sondenteil (2) hat, vibrieren kann, einstückig mit der Sonde ausgebildet ist.
An atomic force microscope as set forth in claim 1, wherein said laser means (18) comprises an optical fiber (26) for coupling said laser beam to said cantilever beam (10).
Kraftmikroskop nach Anspruch 1, wobei die Lasermittel (18) eine optische Faser (26) beinhalten, um den Laserstrahl zu dem einseitig festgelegten Trägerarm (10) zu führen.
An atomic force microscope as set forth in any one of the preceding claims, wherein said position sensitive detection means (22) comprises a bicell (40), preferably a silicon bicell.
Kraftmikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die positionsempfindlichen Detektionsmittel (22) eine Doppelzelle (40) beinhalten, vorzugsweise eine Doppelzelle aus Silizium.
An atomic force microscope as set forth in any one of the preceding claims, wherein said position-sensitive detection means (22) is remotely positionable, preferably by means of an inertial mover (36).
Kraftmikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die positionsempfindlichen Detektionsmittel (22) aus der Entfernung positionierbar sind, vorzugsweise mittels einer Trägheitsantriebsvorrichtung (36).
An atomic force microscope as set forth in any one of the preceding claims 1 to 8 wherein said laser beam (46) received by said position-sensitive detection means (40) has an elliptical shape.
Kraftmikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 8, wobei der Laserstrahl (46), der von den positionsempfindlichen Detektionsmitteln (40) empfangen wird, eine elliptische Gestalt hat.
An atomic force microscope as set forth in claim 9 wherein said laser beam (46) received by said position-sensitive detection means (40) has an aspect ratio in the range of approximately 5 to 7:1 at said detection means.
Kraftmikroskop nach Anspruch 9, wobei der Laserstrahl (46), der von den positionsempfindlichen Mitteln (40) empfangen wird, ein Verhältnis im Bereich von etwa 5 bis 7:1 in den Detektionsmitteln hat.
A probe for an atomic force microscope as set forth in claim 2, wherein both of said two crystal planes (10) lie in one of +Z and -Z directions of the quartz crystal.
Eine Sonde für ein Atomkraftmikroskop gemäß Anspruch 2, in dem beide Kristallebenen (10) in +Z- oder -Z-Richtungen des Quarzsignals liegen.
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