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beam interrupter
Vertaling van "beam interrupter" in Duits
Strahlunterbrecher
The disk transferring device of claim 8, wherein said detecting means further includes a beam interrupter (811) mounted on said at least one of said first disk transfer element and said second disk transfer element.
Plattentransportvorrichtung nach Anspruch 8, wobei das Erkennungsmittel weiter eine Strahlunterbrecher (811) besitzt, der entweder auf dem ersten Plattentransportelement oder auf dem zweiten Plattentransportelement montiert ist.
The disk transferring device of claim 9, wherein said beam interrupter (811) interrupts said light beam as said disk is inserted at said eject position and said first disk transfer element and said second disk transfer element re urged apart by said disk.
Plattentransportvorrichtung nach Anspruch 9, wobei der Strahlunterbrecher (11) den Lichtstrahl unterbricht, wenn die Platte an der Ausstoßposition eingesetzt wird und das erste Plattentransportelement und das zweite Plattentransportelement durch die Platte wieder auseinander gedrückt werden.
A mask inspection device as claimed in claim 5, further comprising a beam interrupter (77) arranged between the mirror polygon (10) and the beam splitter (72), which beam interrupter serves to alternately block the two inspection beams.
Maskeninspektionsvorrichtung nach Anspruch 5, des weiteren umfassend einen Strahlunterbrecher (77), der zwischen dem Spiegel polygon und dem Strahlteiler (72) angeordnet ist, und bei der der Strahlunterbrecher dazu dient, die beiden Inspektionsstrahlen abwechselnd zu blockieren.
The shackle of claim 1, and further including beam interrupter fins (28, 29) mounted on said shackle and extending away from said shackle for detection by a sensing device to determine the orientation of said stirrups (18).
Aufhängebügel nach Anspruch 1, welcher ferner Strahlunterbrechungslamellen (28, 29) umfasst, die an dem Aufhängebügel angebracht sind und sich von dem Aufhängebügel für die Erfassung durch eine Erfassungsvorrichtung weg erstrecken, um die Ausrichtung der Bügel (18) zu bestimmen.
An apparatus as claimed in any of the Claims 4 to 10, characterized in that an element of a double beam deflection system therein can be switched as a beam interrupter.
Gerät nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß ein Element eines Doppelbündel-Ablenksystems darin als Bündelunterbrecher schaltbar ist.
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Synoniemen voor beam interrupter in het Engels
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Afbeelding van de dag
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