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Apparatus as claimed in any one of claims 1 to 5 wherein said means (32) for measuring the pressure in said test chamber (22) comprises a capacitance manometer coupled to said expansion chamber (28).
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Mittel (32) zum Messen des Druckes in der Testkammer (22) ein Kapazitätsmanometer aufweisen, welches mit der Ausdehnungskammer (28) gekoppelt ist.
Select the capacitance manometer that best meets your project requirements. PRODUCTS
Wählen Sie das Kapazitätsmanometer, das Ihre Projektanforderungen am besten erfüllt. PRODUKTE
OVERVIEW The GUI software provides an independent means of communicating with the capacitance manometer without having to interrupt tool communications.
ÜBERBLICK Die GUI-Software bietet eine unabhängige Möglichkeit der Kommunikation mit dem Kapazitätsmanometer, ohne die Werkzeugkommunikation unterbrechen zu müssen.
CAPACITANCE MANOMETER WITH DIGITAL OUTPUT.
KAPAZITÄTSMANOMETER MIT DIGITALEM AUSGANG.
CAPACITANCE MANOMETER HAVING A RELATIVELY THICK FLUSH DIAPHRAGM UNDER TENSION TO PROVIDE LOW HYSTERESIS
KAPAZITÄTSMANOMETER MIT RELATIV DICKER BÜNDIGER MEMBRAN UNTER DRUCK ZUR BEREITSTELUNG EINER GERINGEN HYSTERESE
The result is an exceptionally reliable capacitance manometer family for all vacuum measurement applications.
The apparatus as claimed in any preceding Claim, wherein the means for introducing and controlling a process gas includes a capacitance manometer, a mass flow controller, a mass flow gas control valve, and a throttle valve.
Apparat nach einem der vorhergehenden Ansprüche, in welchem die Mittel zum Einleiten und Steuern eines Betriebsgases ein kapazitives Manometer, einen Mengenflußregler, ein Mengenfluß-Gassteuerventil und ein Drosselventil enthalten.
It provides monitoring and data acquisition capabilities simultaneously with capacitance manometer operation, for chamber and tool matching along with real time advanced troubleshooting.
Sie verfügt über gleichzeitig mit dem Betrieb des Kapazitätsmanometers erfolgende Überwachungs- und Datenaufzeichnungsfunktionen für eine Anpassung von Kammer und Werkzeug, zusammen mit einer fortschrittlichen Fehlerbehebung in Echtzeit.
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Synoniemen voor capacitance manometer in het Engels