Vertaling van "container data processing means" in Duits
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Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung
A system according to Claim 1, further comprising storage means (740) for storing one or more of said transportable containers and for providing communication between the container data processing means of the transportable container stored therein and the central data processing means.
System nach Anspruch 1, welches weiter eine Speichereinrichtung (740) zum Speichern von einem oder mehreren der transportierbaren Behälter und zum Bereitstellen einer Kommunikation zwischen der Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung des darin gespeicherten transportierbaren Behälters und der zentralen Datenverarbeitungseinrichtung aufweist.
A semiconductor wafer processing system according to Claim 3, wherein said container data processing means (40) is for storing data including the identity of, the processing steps to be performed on and the processing history for each wafer stored in said container.
Halbleiterwafer-Verarbeitungssystem nach Anspruch 3, bei welchem die Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung (40) zum Speichern von Daten einschließlich der Identität jedes in dem Behälter gespeicherten Wafers, der an diesem auszuführenden Verarbeitungsschritte und seiner Verarbeitungsgeschichte dient.
A system according to Claim 7, wherein said storage station (740) updates the information stored by said container data processing means.
System nach Anspruch 7, bei welchem die Speicherstation (740) die von der Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung gespeicherten Informationen aktualisiert.
A system according to Claim 7, wherein each said container data processing means includes a control means for causing said container data processing means to display the information stored therein.
System nach Anspruch 7, bei welchem jede der Behälter-Datenverarbeitungseinrichtungen eine Steuereinrichtung beinhaltet, um zu bewirken, daß die Behälter-Datenverarbeitungseinrichtung die darin gespeicherten Informationen anzeigt.
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