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controlling method as set forth
Vertaling van "controlling method as set forth" in Duits
Steuerverfahren gemäß
The controlling method as set forth in claim 1, wherein the first and second optical properties are measured by measuring reflectivity, refractive index, transmittance, polarization property, spectral transmittance, or absorption coefficient.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten optischen Eigenschaften durch Messen des Reflektionsvermögens, des Refraktionsindex, des Lichtdurchlaßgrades, der Polarisationseigenschaft, des spektralen Lichtdurchlaßgrades oder des Absorptionskoeffizienten gemessen werden.
The controlling method as set forth in claim 1, wherein the first and second optical properties are measured based on the difference between the optical property of the photoresist before exposure and the optical property of the photoresist after the exposure.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten optischen Eigenschaften basierend auf dem Unterschied zwischen der optischen Eigenschaft des Photoresists vor der Exposition und der optischen Eigenschaft des Photoresists nach der Exposition gemessen werden.
The controlling method as set forth in claim 1, wherein the first and second optical properties are measured by use of the light having the exposure wavelength and at least one kind of light having a wavelength different from the exposure wavelength.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten optischen Eigenschaften durch die Verwendung von Licht gemessen werden, das die Expositionswellenlänge aufweist, und zumindest eine Art von Licht, das eine Wellenlänge aufweist, die unterschiedlich von der Expositionswellenlänge ist.
The controlling method as set forth in claim 1, wherein the thin film is an undercoat thin film and the condition controlled is a condition for forming the thin film, a condition for etching the thin film, or a condition for coating the thin film.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem der dünne Film ein dünner Unterschichtfilm ist und die gesteuerte Bedingung eine Bedingung zum Bilden des dünnen Filmes, eine Bedingung zum Ätzen des dünnen Filmes und eine Bedingung zum Beschichten des dünnen Filmes ist.
The controlling method as set forth in claim 1, wherein the first and second optical properties are measured on the basis of variation with time.
Steuerverfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die ersten und zweiten optischen Eigenschaften auf der Basis der Zeitvariation gemessen werden.
The data controlling method as set forth in claim 12 or 13, further comprising the step of reserving a storage region in the storage means associated only with a group to which the mode fixing signal is not transmitted.
Verfahren zum Datensteuern gemäß Anspruch 12 oder 13, ferner den Schritt umfassend zum Reservieren eines Speicherbereiches in der Speichereinrichtung, die nur mit einer Gruppe verknüpft ist, zu welcher das Modusfixiersignal nicht übermittelt wird.
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 6. Exact: 6. Verstreken tijd: 39 ms.
