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diffracting structures
Vertaling van "diffracting structures" in Duits
beugenden Strukturen
A method according to any of claims 1-3, wherein the at least two laterally displaced diffracting structures (81, 82,104, 106,145, 146,204, 205) are partly overlapping.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, wobei die wenigstens zwei zueinander seitlich versetzten beugenden Strukturen (81, 82,104, 106,145, 146,204, 205) einander teilweise überlappen.
A device for carrying out the above method comprises an object (41) with diffracting structures, whereby a light detector (48) is arranged such that it receives light (50, 51, 52) with at least one order of diffraction greater than zero.
Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist einen Gegenstand (41) mit beugenden Strukturen auf, wobei ein Lichtempfänger (48) so angeordnet ist, daß es gebeugtes Licht (50, 51, 52) mit wenigstens einer Beugungsordnung großer Null empfängt.
An apparatus according to any of claims 92-95, wherein the light to the two transmitting diffracting structures (104,106, 145,146, 204,205) is provided by two separate lasers (103,105) the frequency difference between which is locked to a preset value.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 92 - 95, wobei das Licht zu den zwei übertragenden beugenden Strukturen (104,106, 145,146, 204,205) durch zwei separate Laser (103,105) erzeugt wird, deren Frequenzdifferenz auf einem voreingestellten Wert gehalten wird.
An apparatus according to claim 109, wherein the two diffracting structures (254,255) consist essentially of diffracting structures of slightly different spatial frequencies, whereby two displaced images are obtained.
Vorrichtung nach Anspruch 109, wobei die zwei beugenden Strukturen (254,255) im wesentlichen aus beugenden Strukturen mit geringfügig verschiedenen räumlichen Frequenzen bestehen, so daß zwei zueinander versetzte Bilder entstehen.
A method according to any of claims 28-31, wherein the two partly overlapping diffracting structures of the receiver means and the transmitter means, respectively, have the same relative position and the same apertures as the diffracting structures (81, 82) of the transmitter means.
Verfahren nach einem der Ansprüche 28-31, wobei die zwei einander teilweise überlappenden beugenden Strukturen der Empfangseinrichtung und der Übertragungseinrichtung jeweils die gleiche relative Position und die gleichen Öffnungen haben wie die beugenden Strukturen (81, 82) der Übertragungseinrichtung.
An apparatus according to any of claims 82-87, wherein the apertures of the diffracting structures (83, 84) of the receiver means are larger than the apertures of the diffracting structures (81, 82) of the transmitter means.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 82 - 87, wobei die Öffnungen der beugenden Strukturen (83, 84) der Empfangseinrichtung größer sind als die Öffnungen der beugenden Strukturen (81, 82) der Übertragungseinrichtung.
An apparatus according to claim 85, wherein the receiver means comprise two fully or partly overlapping diffracting structures (83, 84).
Vorrichtung nach Anspruch 85, wobei die Empfangseinrichtungen zwei einander vollständig oder teilweise überlappende beugende Strukturen (83, 84) umfassen.
An apparatus according to claim 1, wherein the diffracting region comprises additional diffracting structures for diffracting additional light beams to the object, each of the additional light beams being diffracted at the first diffraction angle to a normal of the diffraction plane.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei der Beugungsbereich zusätzliche Beugungsstrukturen zur Beugung zusätzlicher Lichtstrahlen auf den Gegenstand aufweist, wobei jeder der zusätzlichen Lichtstrahlen unter einem ersten Beugungswinkel zu einer Normalen der Beugungsebene gebeugt ist.
The apparatus of claim 32, further comprising a database including intensity data measured from other diffracting structures, and means for comparing the intensities detected to the data in the database for determining the one or more parameters of the diffracting structure.
Vorrichtung nach Anspruch 32, ferner umfassend eine Datenbank mit Intensitätsdaten, die von anderen Diffraktionsstrukturen gemessen sind, und eine Einrichtung zum Vergleichen der Intensitäten, die erfasst werden, mit den Daten in der Datenbank zum Bestimmen des einen oder der mehreren Parameter der Diffraktionsstruktur.
An apparatus according to claim 110, wherein a diffracting structures and a zone-plate lens are superposed, whereby a sharp and a smeared image are obtained.
Vorrichtung nach Anspruch 110, wobei eine beugende Struktur und eine Zonenlinse übereinander angeordnet sind, so daß ein scharfes und ein unscharfes Bild entstehen.
SCATTEROMETRIC MEASUREMENT OF UNDERCUT MULTI-LAYER DIFFRACTING STRUCTURES
STREUMETRISCHE MESSUNG VON UNTERSCHNITTENEN MEHRSCHICHT-BEUGESTRUKTUREN
Well-known optical methods for image processing can also be deployed in Wi-Fi holography: One example is the dark-field methodology used in microscopy, which improves the recognition of weakly diffracting structures.
Auch aus der Optik bekannte Methoden zur Bildverbesserung können bei der WLAN-Holografie eingesetzt werden: Ein Beispiel ist die aus der Mikroskopie bekannte Dunkelfeld-Methode, die es ermöglicht, schwach streuende Strukturen besser erkennen zu können.
Synoniemen voor diffracting structures in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 12. Exact: 12. Verstreken tijd: 30 ms.
