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diffuser plate assembly
Vertaling van "diffuser plate assembly" in Duits
Gasdiffusorplatten-Aufbau
A gas diffuser plate assembly as claimed in any preceding claim wherein the gas diffuser plate (14) is perforated with a gas diffusion hole pattern (26).
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Gasdiffusorplatte (14) mit einem Gasausbreitungslochmuster (26) perforiert ist.
A gas diffuser plate assembly as claimed in any preceding claim further comprising at least one isolator tube (34,36) surrounding at least a portion of the heat pipe (20) to prevent the formation of excess plasma during RF plasma cleaning.
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, der mindestens eine Isolatorröhre (34,36) aufweist, die mindestens einen Abschnitt des Wärmeübertragungsrohres (20) umgibt, um die Bildung eines überschüssigen Plasmas während der HF-Plasmareinigung zu verhindern.
A gas diffuser plate assembly as claimed in any preceding claim wherein a surface (30) of the gas diffuser plate (14) opposite the mounted heat pipe (20) is highly polished to prevent excessive radiant energy heat gain during CVD processing.
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Oberfläche (30) der Gasdiffusorplatte (14), die dem angebrachten Wärmeübertragungsrohr (20) gegenüberliegt, hochglanzpoliert ist, um einen Strahlungswärmeenergiegewinn während einer CVD-Bearbeitung zu verhindern.
A gas diffuser plate assembly as claimed in any preceding claim further comprising a sealing member (56,62,64,66,68) for sealing the heat pipe (20) to a gas distributor cover (38) in a CVD processing apparatus.
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das ein Dichtungsglied (56,62,64,66,68) aufweist, zur Abdichtung des Wärmeübertragungsrohres (20) an einer Gasverteilerabdeckung (38) in einer CVD-Bearbeitungsvorrichtung.
A gas diffuser plate assembly as claimed in Claim 1 wherein the heat pipe (20) is integrally mounted to the gas diffuser plate (14).
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach Anspruch 1, wobei das Wärmeübertragungsrohr (20) integral an der Gasdiffusorplatte (14) angebracht ist.
A gas diffuser plate assembly as claimed Claim 4 wherein the isolator tube (34,36) is also for preventing electrical shorting.
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach Anspruch 4, wobei die Isolatorröhre (34,36) auch dazu dient, einen elektrischen Kurzschluß zu verhindern.
A gas diffuser plate assembly as claimed in either Claim 1 or Claim 2 wherein the heat pipe (20) extends perpendicularly from a surface of the gas diffuser plate (14), co-axial with the axis of the gas diffuser plate (14).
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Wärmeübertragungsrohr (20) sich senkrecht von einer Oberfläche der Gasdiffusorplatte (14) und koaxial mit der Achse der Gasdiffusorplatte (14) erstreckt.
A gas diffuser plate assembly as claimed in Claim 7 when dependent on Claim 6 wherein the gas diffusion hole pattern (26) extends beneath the shoulder flange (28).
Gasdiffusorplatten-Aufbau nach Anspruch 7, wenn von Anspruch 6 abhängig, wobei sich das Gasausbreitungslochmuster (26) unter den Rücksprungflansch (28) erstreckt.
Synoniemen voor diffuser plate assembly in het Engels
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